PERC SE 单晶电池工艺-培训资料

5+5Si→5SiO2+4P↓800~900℃PERC电池制程@扩散JiaYueSOLAR①SE电池:SE电池是选择性扩散电池(selectiveemitter),由中电光伏(CSUN)的赵建华博士发明。即在金属栅线(电极)与硅片接触部位进行重掺杂,在电极之间位置进行轻掺杂,这样的结构可降低扩散层复合,由此可以提高光线的短波响应,同时减少前金属电极与硅的接触电阻,使得短路电流、开路电压和填充因子都得到较好的改善,从而提高转换效率。SE电池的主要特点是金属化区域磷高浓度掺杂,光照区域磷低浓度掺杂。金属化区域浓扩散区结深大,烧结过程中金属等杂质不易进入耗尽区形成深能级,反向漏电小,并联电阻高;光照区域掺杂浓度低,短波响应好,短路电流高;横向扩散高低结前场作用明显,利于光生载流子收集。②激光SE电池原理:单晶硅片制绒后进行浅结热扩散,利用激光根据金属化图形将硅片扩散后形成的PSG层作为杂质源进行掺杂处理,驱入实现局部重扩散。在原有的电池工艺基础上增加激光二次扩散制作SE电池。③激光SE电池工艺关键点:要提高SE电池的光谱响应及光谱响应范围,提高电池效率,需要对电池正面无栅线区域制作浅的PN结,又需要足够的P源以利于使用二次激光扩散。激光二次扩散的结深要与后续的正面银电极烧结相匹配。使得正面银电极与电池片形成欧姆接触,且银电极不能烧穿结区。PERC电池制程@SE(SelectiveEmitter,选择性发射极)JiaYueSOLAR9SE单晶PERC电池SEM形貌SE技术要点浅结扩散技术梯度掺杂SE单晶PERC电池剖面结构示意图SiNx(PE)P型硅片(~200μm)SiO2(热氧)浅结扩散(0.2μm)Ag电极梯度掺杂激光扫描区激光扫描区激光扫描区的SEM形貌显示仍为完整的金字塔结构PERC电池制程@SE(SelectiveEmitter,选择性发射极)JiaYueSOLAR10