扩散掺杂Р通过扩散所形成的PN结,就是晶体硅太阳能电池的核心Р太阳光照到PN结上,产生电子的定向移动,产生电流Р产品特点Р串级温度控制精度高,恒温区稳定、真实? 工艺舟软着陆? 闭管扩散? 工艺气体流量精确? 性价比高? 具备手动/自动功能Р主要技术指标Р1 电阻率误差范围:±5 o hms/sq ?2 温度控制范围:350~1300℃?3 温度控制方式: 5段智能串级温度控制器进行控温?4 恒温区长度及精度(动态,即模拟工艺状态): 350~600℃≤±1℃/1100mm? 600~1300℃≤±0.5℃/1100mm?5 温度斜变能力:A.最大可控升温速率:15℃/min; B.最大降温速率:6℃/min? C.RT→1100℃≤90min?6 具有自动斜率升温及恒温功能。?7 设置有超温、断偶、断点启动等自动保护系统?8 送舟方式:采用SiC悬臂桨自动送片机构,舟速20~1000mm/min连续可调,可选自动装卸舟?9 配备快速冷却系统?10 工艺方式:软着陆+闭管扩散(最大装片量400片/批)?11 工艺过程由工业计算机全自动控制,直接在触摸屏上操作。?12 可存储200条工艺曲线、每条曲线不少100个拐点。?13 最大升温功率: 42KVA/每管Р技术特点Р5段自动适时恒温区Р工艺舟软着陆Р闭管扩散Р数字式MFC精确控制气体流量Р自动装卸舟Р技术特点——5段自动适时恒温区Р在1100mm的恒温区范围内,采用5点Profile热偶配合炉壁热偶进行串级温控Р温控元件应用高精度智能温控器Р完整的控制方案确保从低温到高温状态下,炉管内恒温区的持续与真实性。Р技术特点——5段自动适时恒温区Р+РPID1РPID2Р触发器Р温度设定值Р4~20mA输出Р4~20mA输入Р温变器Р温控仪Р380VР380VР380VР温度串级控制示意图Р+Р+Р+Р+Р技术特点——工艺舟软着陆
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