�%,残铜表面污染物与蚀刻缸过滤物基本一致,确认为蚀刻污染原因。��D夥治�采用白胶片过蚀刻缸,发现胶片上大量黑色杂物,并带有粘性,也说明蚀刻段污染极其严重。����Q�⑾治侍�����写蟊Q��⑾指妆凇⒀�繁媒�┛诨�泻窈竦恼吵砦铮挥枋纯萄龟そ显唷J纯谈桌锏�传送辘上有粘稠物。说明蚀刻缸太脏,而过滤系统又不足够,导致传送辘有粘稠物极易形成残铜。问题定位:根据缺陷板分析,电镜分析结果,模拟分析共同确定此次残铜主要来源于蚀刻段,由于蚀刻药水脏而过滤又不足够引起满板半铜状的蚀刻污染类残铜。改善措施及效果评估;��纳拼胧����/�对压辘、传送辘清洁,清洗压辘;��/�大保养。彻底清洁各处杂物、污染物,��Vな纯谈滓┧�慕嗑欢龋�乐挂┧�唷�.��实行首板残铜处理方法,��Ч��估:����图�Р萃��砜闯觯�纯涛廴纠嗖型��月份的��%下降到�路莸�.�ィ�得骷忧渴纯潭伪Q���/�对压辘、传送辘进行清洁,残铜由�.�ハ陆档���%;说明压辘清洁是有效的。��/�对该线大保养;���敌惺装宀型��矸椒ǎ徊型����%�档���%;说明大保养控制蚀刻药水的洁净度和合理的生产控制对改善残铜是有效的。����菏凳�条措施,残铜从�%降低到�ィ�刂剖纯谈捉嗑欢榷愿纳撇型�呛苡行У摹���.�纯膛缌芄�擞跋炱拦溃���纳拼胧�减少蚀刻缸内的脏物:��纯谈着缌芄�送�忧浚�沟靡┧��烁删唬���纯谈准忧垦�饭�诵Ч�����纯谈椎谋Q�德始忧浚�沟靡┧�诤茉嘀�氨桓�坏簦�3制浣嗑欢取���Ч�拦溃�见图�、图����蚀刻缸喷淋过滤网加强,���显影补加段压力加大,����翰型��月份的�.�ソ档偷�月份的��%,每周大保养,加强保养效果对残铜有效。���.��.�残铜逐步降低,说明了改善蚀刻喷淋过滤是非常关键的。效果对残铜积极有效的;改善蚀刻喷淋过滤对蚀刻污染类残铜改善是非常关键的。图�
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