装箱 5 . 工治具说明: 5.1 :伞具: 为支撑镀膜板及被镀物治具。 5.2 : 镀膜板: 用于放置被镀物。 5.3 : 修正板: 修正蒸镀过程中因高低不同而形成的色差。 5.4 :坩锅、钨舟: 用于放置镀膜材料。 5.5 :镊子: 用于取放镜片。 5.6 : 二流化钼: 用于润滑回转机构。 5.7 : 无尘工作台: 用于放置待镀膜基板。 5.8 : 烤箱: 用于烘烤镜片, 使镜片没有水分。 6. 镀膜作业流程说明 6.1 : 镀膜流程认识镜片镀膜规格填装镜片机台选择排气开始蒸镀泄气膜色检查( 频谱量测) 送出外观检查 6.2 : 多层膜作业流程:6.2.1 : 机台暖机!6.2.2 : 从前工程研检接收需镀膜之镜片, 根据标示单区分机种/ 番号、数量。 6.2.3 : 暖机完成后, 进行蒸镀排气抽真空程序。 6.2.4 : 真空度为 8.0 ×10- 5Torr 时, 打开离子枪开始辅助镜片。 6.2.5 : 真空度到达所设定的参数开始蒸镀。 6.2.6 : 确认蒸镀真空度为 6.0 ×10- 5Torr 以下, 回转转速( 70rpm ), 打开计算机监控软件软件进入选择蒸镀制程开始镀膜。 6.2.7 : 此时工作人员需坐在机台傍观看每层的厚度曲线变化( 根据《镀膜系统软件操作说明书》控制氧压及电流使实际值与理论值相接近。 6.2.8 : 蒸镀完成后, 关闭镀膜系统软件。 6.2.9 : 关电子枪高压、低压开关, 按下泄气。 7. 注意事项:7.1 : 保持桶身内、伞具、冶具架的洁净。 7.2 : 须蒸镀镜片与所用软件制程相符。 7.3 : 监控片的安装规范。 7.4 : 蒸镀时须注意: 7.4.1 : 坩锅到位。 7.4.2 : 监控片运转顺畅。( 监控光源正常) 7.4.3 : 回转转速正常。 7.4.4 : 离子枪流量需正常。 7.4.5 : 修正板支撑正常。
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