J.Hsue,S.S.Lu 等在控制策略上有新的成果,他们提出了“放电角”的新概念,并利用此概念分析了常见拐角加工的材料去除率,指出在拐角切割且当保持恒速伺服进给时,材料蚀除量是在不断发生变化的,不象在进行直线切割时, 材料蚀除量是恒定的,因此在切割拐角时,向放电间隙输入的放电能量要与材料的蚀除量相一致,否则拐角的切割由于过多的放电能量而形状精度下降。在控制放电能量的同时,他们还对电极丝的张力进行控制,当切割拐角时增加电极丝的张力来改善由于电极丝弯曲而使精度下降的现象,研究中的试验结果表明这种全面控制策略取得相当好的加工精度。它代表了这种切割方式最新发展水平。总之,国外切割设备的发展日新月异。 300mm 切割机已在生产线上运行,更大直径的切割机已经在研制或完善中,随着材料加工设备的更新换代,将在 21世纪有力地推动超大规模集成电路的迅猛发展。 1.1.2 我国切割设备的现状 1、机床品种多样化、年产量稳步增长多年来,我国生产的数控电火花线切割机一直是单一的高速走丝线切割机。近几年来, 为了满足市场需要,又开发生产了自旋式电火花线切割机、走丝速度可调的电火花线切割机(含高低双速走丝电火花线切割机)以及低速走丝电火花线切割机等。机床品种的多样化可以满足用户的需要,扩大数控电火花线切割加工的应用范围。高速走丝电火花线切割机是我国当前发展的主要产品, 广大科技工作者为了进一步提高它的工艺性能及自动化程度做了大量开发研究工作, 并开发生产了 2000mm × 1200mm × 500mm 及 1000mm × 630mm × 1000mm 等超大型高速走丝电火花线切割机床, 扩大了它的应用范围, 满足了用户的各种需要, 使其年产量稳步增长, 至今已达 12000 台/年,并有约 300 台/年出口到世界各国。低速走丝电火花线切割机过去曾是“出口机”的代名词,现在已有苏州沙迪克三光机