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薄膜的物理气相沉积-溅射法-课件(ppt·精·选)

上传者:塑料瓶子 |  格式:ppt  |  页数:187 |  大小:0KB

文档介绍
晕光环, 因此这一阶段称为电晕放电。 3.1 气体放电现象与等离子体汤生放电阶段之后,气体会突然发生电击穿现象。这时气体开始具备了相当的导电能力,我们称这种具备了一定的导电能力的气体称为等离子体。此时, 电路中电流大幅度增加,同时放电电压却有所下降。在这一阶段,气体中导电粒子的数目大量增加,粒子碰撞过程伴随的能量转移也足够大,因此放电气体会发出明显的辉光。电流的继续增加使得辉光区域扩展到整个放电长度上,同时,辉光的亮度不断提高。当辉光放电区域充满了两极之间的整个空间之后, 在放电电流继续增加的同时,放电电压又开始上升。上述的两个不同的辉光放电阶段被称为正常辉光放电和异常辉光放电。 3.1 气体放电现象与等离子体随着电流的继续增加,放电电压将会再次大幅度下降,而电流强度则会伴随有剧烈的增加。这表明,等离子体自身的导电能力再一次迅速提高。此时,等离子体的分布区域发生急剧的收缩,阴极表面出现很多小的、孤立的电弧放电斑点。此时,气体开始进入弧光放电阶段。在弧光放电过程中,阴极斑点会产生大量的焦尔热,并引起阴极表面局部温度大幅度地升高。这不仅会导致阴极热电子发射能力的大幅度提高,而且还会导致阴极物质自身的热蒸发。实际上,电弧蒸发方法即是利用了弧光放电过程中物质的蒸发现象。 3.1 气体放电现象与等离子体气体的放电类型: ? Townsend 放电: 气体击穿的初期,放电电压比较高,且随输入功率的增加变化很小;放电电流随输入功率的增加而增加,但比较小; ?正常辉光放电: 当放电达到一定值以后,足够多的电子和离子使得放电可以自持,气体放电转化为正常辉光放电,此时的气体电导率比较大,极板间电压下降; ?反常辉光放电: 当电离度达到比较高以后,电流随功率增加变缓,但电压迅速增加; ?弧光放电: 进一步增加功率导致电弧出现,从而放电转化为弧光放电,气体电导率再次增加,极板间电压再次下降;

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