观察样品表面发生的物理或化学的动态过程及反应中原子的迁移过程等。STM除具有一定的横向分辨本领外,还具有极优异的纵向分辨本领,STM的横向分辨率达0.1nm,在与样品垂直的z方向,其分辨率高达0.01nm。由此可见,STM具有极优异的分辨本领,可有效的填补SEM,TEM,FIM的不足,而且,从仪器工作原理上看,STM对样品的尺寸形状没有任何限制,不破坏样品的表面结构。目前,STM已成功地用于单质金属.半导体等材料表面原子结构的直接观察。扫描隧道显微镜不能测量绝缘体表面的形貌。1986年G.Binnig提出原子力显微镜(AFM)的概念,它不但可以测量绝缘体表面形貌,达到接近原子分辨,还可以测量表面原子间的力,测量表面的弹性.塑性.硬度.粘着力.摩擦力等性质13.和波谱仪相比,能谱仪在分析微区化学成分时有哪些优缺点?答:能谱仪全称为能量分散谱仪(EDS)。⑴Si(Li)能谱仪的优点:①分析速度快:能谱仪可以同时接受和检测所有不同能量的X射线光子信号,故可在几分钟内分析和确定样品中含有的所有元素,带铍窗口的探测器可探测的元素范围为11Na~92U,20世纪80年代推向市场的新型窗口材料可使能谱仪能够分析Be以上的轻元素,探测元素的范围为4Be~92U。②灵敏度高:X射线收集立体角大,由于能谱仪中Si(Li)探头可以放在离发射源很近的地方(10㎝左右),无需经过晶体衍射,信号强度几乎没有损失,所以灵敏度高(可达104cps/nA,入射电子束单位强度所产生的X射线计数率)。此外,能谱仪可在低入射电子束流(10-11A)条件下工作,这有利于提高分析的空间分辨率。③谱线重复性好:由于能谱仪没有运动部件,稳定性好,且没有聚焦要求,所以谱线峰值位置的重复性好且不存在失焦问题,适合于比较粗糙表面的分析工作。⑵能谱仪的缺点:①能量分辨率低:峰背比低。由于能谱仪的探头直接对着样品,所以由背散射电子
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