微电机 第一讲MEMS 与 NEMS

微纳米技术及其应用》李德胜关佳亮石照耀张建辉等编著科学出版社?《微机械电子系统及其应用》刘广玉等编著北京航空航天大学出版社?《MEMS和微系统——设计与制造》(美)刘泰然著机械工业出版社?《纳米材料和器件》朱静等编,清华大学出版社?《微系统技术》(德)王春海等译, 化学工业出版社Р本期讲座小论文题目Р微纳米机电系统与宏观领域的机电系统有何不同??微纳米技术对社会发展、经济建设有什么作用?Р请任选一个题目,课外查有关资料后,写一篇2000字以上的小论文,注明参考资料。Р微纳米机电系统РMEMS 与 NEMSР1Р微机电系统与传统机械系统Р2Р微纳米的研究领域和应用前景Р3Р微纳米机电系统Р第一讲? MEMS 与 NEMSРMEMS 与 NEMSРMEMS 与 NEMS概述Р1.1РMEMS 与 NEMS的发展Р1.2РMEMS 与 NEMS的特性Р1.3Р1.1 MEMS 与 NEMS 概述Р在美国称为微机电系统MEMS(Micro Electro Mechanical Systems);? 在日本称为微机械(Micro machine);? 在欧洲称为微系统(Micro system)。РMEMS ——微机电系统或微型机械РNEMS ——纳(米)机电系统?(Nano Electro Mechanical Systems)Р名称Р1.1 MEMS 与 NEMS 概述Р宏观机械Р微小型机械РMEMSРNEMSР10mm以上Р1mm-10mmР1μm-1mmР1nm-1μmР尺寸Рnm μm mmР1.1 MEMS 与 NEMS 概述Р尺寸Р在21世纪最为瞩目的两个高科技领域——信息技术和生物技术中起着不可估量的作用;? 在军事领域中也起着巨大作用;? 关系国民经济建设和国家安全保障的战略高科技。Р微纳机电系统技术是一项战略高科技Р1.1 MEMS 与 NEMS 概述Р研究的意义