所以用来测量加速度和角速度的惯性力也相应比较小,系统的灵敏度相对较低,这样开发出高灵敏度的加速度计显得尤为重要。无论是民用还是军事用途,精度高、量程大的微加速度计将会大大拓宽其运用范围。(2) 温漂小、迟滞效应小成为新的性能目标,选择合适的材料,采用合理的结构,以及应用新的低成本温度补偿环节,能够大幅度提高微加速度计的精度。(3) 多轴加速度计的开发成为新的方向。已经有文献报道开发出三轴微硅加速度计,但是其性能离实用还有一段距离,多轴加速度计的解耦是结构设计中的难点。(4) 将微加速度计表头和信号处理电路集成在单片基体上,也能够减小信号传输损耗,降低电路噪声,抑制电路寄生电容的干扰。(5) 选择合理的工艺手段,降低制作成本,为微加速度计批量化生产提供工艺路线;同时,标准化微机电系统工艺,为微加速度计投片生产提供一套利于操作、重复性好的工艺方法,也是微硅加速度计发展的重要方向。微加速度计的特点微加速度计的特点微加速度计具有尺寸小、重量轻、成本低、易集成、功耗小等特点微加速度计的性能指标微加速度计的性能指标 1.量程 2.灵敏度:降低刚度,增加质量 3.动态范围:提高加速度计的固有频率,但这与提高灵敏度有矛盾 4.反应时间:提高固有频率 m 加速度测量方向读出传感器壳体检测质量阻尼器弹簧质量块运动方程无阻尼固有频率阻尼比 r r r mx cx kx ma ? ????? ? 0km ??2 c mk ??品质因子 12 Q??拉氏变换得传递函数的幅值和相位分别为 2 2 2 2 0 0 ( ) 1 ( ) ( ) ( ) ( / ) rXHAQ ???? ???? ?? ? 01 2 2 0 tan Q ???? ????传递函数幅值
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