量加速度的变化Р典型用途?提供运动物体姿态、位置和速度的信息,各种航空航天平台及飞行器的制导系统Р作为微执行器的特点Р微型惯性测量组合MIMUР(Intertial Measurement Uint-IMU)Р美国德雷珀实验室,尺寸2cm×2cm×0.5cm,质量约5g,陀螺的漂移不稳定性10°/h,加速度计精度为250μgР代表产品Р寿命、可靠性高(无转动的部件)?成本?体积和重量Р要求Р大量程、高g值——测量量程在几万g到十几万g ?很好的抗过载能力——硅材料内部缺陷少Р侵彻武器概念与作用Р典型产品Р微型加速度传感器在侵彻武器引信中的应用Р美国在90年代初期开始研究硬目标灵巧引信(ETSF),侵彻武器通常以每秒几千英尺的速度穿入地面、混凝土、岩石或其它的坚硬物质,其运动的平均加速度可达到地球上物体所受重力加速度的 2 万倍,最大加速度可达重力加速度的几十万倍,要求所用加速度传感器既能抗击这样苛刻的工作环境,同时又能识别冲击与钻入的整个过程。因此,侵彻武器用传感器要有较宽的测量范围、可经受极端冲击的坚固结构。Р美国ENDEVCO公司,90年代,20万g,压阻式加速度微传感器,7270AР二、MEMS在汽车上的应用Р传感器对汽车的作用:?汽车是传感器第二大市场,每台车40到上百个传感器?汽车发展趋势(智能化)需要更多传感器,特别是安全方面РMEMS传感器在汽车应用中的优势:成本、性能、可靠、轻Р应用位置:?安全气囊、ABS制动、测速、防撞、发动机燃烧状态、减振等Р主要应用产品:MEMS加速度传感器、 MEMS压力传感器Р主要用途Р发动机控制和传动系统。例如:流量绝对压力测量,气压测量,排气回流测量,燃料压力测量。?悬挂/制动和牵引控制系统。例如:轮胎压力监测,主动悬挂液压测量。?驾驶与乘座环境控制系统。例如:座椅腰部支撑压力测量,空调控制压力传感器Р压力传感器在汽车中的应用
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