加大动态响应的范围。信息处理系统通过微传感器和接口与外部环境进行信息交换,并通过微驱动器完成实时控制功能。图1给出了一个完整的微机电系统结构框图。Р微机电系统的构成Р8Р图1 微机电系统结构示意图Р9Р(1) 微驱动器是微机电系统中最主要的部分之一,这方面的研究已经取得了很大的进展。微机电系统驱动中最常用的驱动原理主要有:热力驱动(双金属片驱动器)、形状记忆合金驱动(微关节和微弹簧)、压电晶体驱动、静电力驱动。此外,还有电磁驱动原理。? (2)传感器是将能量从一种形式转变成另一种形式,并针对特定可测量的输入为用户提供一种可用的能量输出的器件。1962年第一个硅微型压力传感器的问世开创了微机电系统技术的先河,并一直是推动微机电系统技术不断进步的动力,同时微机电系统技术的应用又使微传感器性能提高了几个数量级。现在已经形成产品和正在研究中的微型传感器有:压力、力、力矩、加速度、速度、位置、流量、电量、磁场、温度、气体成分、湿度、PH值、离子浓度和生物浓度、微陀螺、触觉传感器等。微型传感器正朝着集成化和智能化的方向发展。Р10Р(3)信息处理系统中的核心部件为微处理器。在微机电系统中,对信息处理系统的要求很高:一方面提出的任务要求非常苛刻,如对来自传感器阵列信号电流的实时评价;另一方面,由于体积的原因,微机电系统的尺寸和功率都受到很大的限制,因此,必须开发专为微机电系统结构而编制的程序,以便有效的利用微处理器的能力。除计值、评价、处理以外,微处理器还要能进行自行试验,自行校准以及冗余子系统管理,以提高微机电系统的可靠性。? (4)在微机电系统中,接口不仅指准二维空间内电的触电导通,而且还指电、机、光、液体和其他参量向三维微结构传递,以及来自周围宏观介质的通讯。在这样一种定义下,接口必须要既能够使系统与外部准确无误的进行信息通信又能够使得系统在恶劣的环境下(腐蚀、振动等)有最佳保护。
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