限公司Р“真空”的定义及分类Р工业上把压力低于大气压的气体空间称为真空,习惯上又把真空分为低真空、中真空、高真空、超高真空、极高真空。Р常用真空表示单位有毫巴(mbar)、乇(Tor)、帕斯卡(pa)?1mbar = 1.33Tor = 100paР低真空:1.0E3mbar(大气压)----10mbar ?中真空:10mbar---1.0E-3mabr 食品干燥,热处理,溅射镀膜?高真空: 1.0E-3mbar---1.0E-8mbar 蒸发镀膜工艺真空范围?超高真空: 1.0E-8mbar---1.0E-12mbar?极高真空: <1.0E-12mbarР在一个大气压下,温度为零摄氏度时,气体的分子密度是:?2.687E19 个/立方厘米Р平均分子自由程:РΛ=6.65E-3/P(单位:厘米)?P为压强,单位mbarР真空史上最著名的试验:马德堡半球试验Р两个直径为35.5厘米的半球,内部被抽成真空,由两组各8匹马来拉。Р真空泵种类:Р1.低真空泵:? 膈膜泵? 离心泵? 旋片泵*? 罗茨泵*? 爪泵?2.高真空泵? 油扩散泵*? 涡轮分子泵? 低温捕集泵? 钛升华泵?3.真空辅助装置? 低温冷阱(PolyCold)Р旋片泵示意图:Р真空泵的维护:?1.每天检查泵油位以及油的颜色?2.每天检查进出冷却水温度,出水温度<60°C?3.每个季度要更换油过滤器Р罗茨泵示意图:Р罗茨泵的维护:?1.每天检查油位及油的颜色?2.每天检查泵运行时的声音是否正常!!!?3.每周要检查泵口过滤网!!!Р油扩散泵示意图:Р冷却水温度在15-25°CР扩散泵维护:?1.每天检查水温以及油位?2.每天检查加热棒的功率(用钳形表测量三项电流)?3.定期更换扩散泵油(每3个月最佳)Р!!!在清理维护扩散泵时,不要调节喷嘴间隙!!!Р分子泵示意图:Р低温泵示意图:РCryo pump scheme
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