真空划分为粗真空、低真空、高真空和超高真空,甚至是有极高真空,最后的真空级别存在测量问题。随着真空度的提高,真空的性质将逐渐变化Р真空区域的划分Р一般认可的真空划分Р粗真空 760~10托物理特点:1气体分子间的碰撞 2粘滞流主要真空规: U型压力计主要真空泵:机械泵,各种粗真空泵主要应用:真空浓缩、脱色、脱臭;真空成形;真空输运Р 在此真空区间,使用真空技术的主要目的是为了获得压力差,而不要改变空间的性质Р低真空Р压力范围:(10~10-3托) 物理特点:它是粗真空到高真空的过渡,气体分子之间碰撞为主向气体与器壁的碰撞为主过渡主要真空规:麦氏计,热阻真空规主要真空泵:机械泵主要应用:真空蒸馏,真空干燥,冷冻干燥,真空浸渍? ?在此真空区间气体的流动从粘滞流过渡到分子状态,分子动力学性质明显,对流完全消失Р高真空Р压强范围(10-3~10-8托) 物理特点:1气体分子与器壁的碰撞为主 2分子流主要真空规:B-A型热阴极电离规冷阴极电离规主要真空泵:扩散泵;涡轮分子泵主要应用:各种真空冶金,热处理,真空电子束焊,半导体材料区域熔炼,电真空器件,原子能加速器,真空镀膜Р在这种状态下,气体的热传导和内摩擦已与压强无关Р超高真空Р压强范围(10-8~10-12托) 物理特点:1气体分子在固体上吸附停留为主 2表面物理化学为决定无力本质的基本规律主要真空规:各种改进型的热阻极电离规,磁控规主要真空泵:加阱扩散泵;各种吸气剂离子泵主要应用:各种真空冶金,热处理,真空电子束焊,真空镀膜,薄膜和表面物理,表面化学,热核反应和等离子体物理,超导技术,宇宙航行?在这种状态下,气体的热传导和内摩擦已与压强无关Р极高真空Р压强范围(〈10-12托)获得和测量存在问题Р 由于气体密度较小,统计涨落大于5%Р 主要真空规:冷或热阴极磁控规Р 主要真空泵:低温冷凝泵,扩散泵家生化阱Р 主要应用:宇宙航行
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