150 ?) 的清晰图象,所以获得了广泛的应用。 2.电子探针发展简史电子探针( Eletron Probe ) 又名 X 射线微区分析仪( X--Ray Micgoanalyser )。它的设计思想首先由法国的卡斯坦( Castaing ) 在他的老师格乌尼里( Guiner ) 指导下,在 1949 年于巴黎大学的毕业博士论文中提出来的。它的基本原理是用一束聚焦的具有一定能量的电子轰击样品, 以激发出样品的 X 射线,然后根据这些 X 射线的波长和强度,来鉴定样品中包含的元素种类及其含量, 从而为人们提供了关于试样化学组成的定性和定量二种信息。卡斯坦的设想一提出来之后,立即为欧洲和美国的许多科学工作者所采用,他们最早是把电子显微镜经过适当改装使其成为电子探针,其分辨率和测量的精度从今天的角度来看,当然是很低的,只能作一些定性的工作, 但即使这样,也使急于想探索 1μ或几μ这样微小区域中的化学组成的科学工作者感到极大的兴奋,使他们更加努力去进一步改进仪器。第一台商品型电子探针由法国卡梅卡( CAMECA ) 公司在卡斯坦的直接指导下于 1956 年首先制成。在这同一时期,苏联的洛夫斯基( Lopofckuji ) 也独立的发展了电子探针的概念。并装置了一台结构大体类似的仪器。卡斯坦的第一台探针并不具有电子束扫描的功能,其后 1959 年英国的卡斯列特( Cosslett ) 和邓克姆布( Duncumt ) 又将其进一步改进,使其具有在试样表面的一定面积上扫描的功能。电子探针的问世不是偶然的,它是由于人类生产水平的不断提高,对科学技术提出了更高的要求,人们已经不能满足于对大块试样平均成分的了解,而是努力探索许多物理、化学的宏观现象与试样在微米级这样的亚微观区域中成分的不均匀性之间的内在联系。而电子探针的出现正是为解决这样的课题提供了强有力工具。我国从 62年开始引进。
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