按3.3和3.4步骤测量,计算出10个放大倍数。4.3按公式(3)计算出放大倍数的重复性g。(3)式中Mi——第i次测量得到的放大倍数(i=1,2,3,…,10);——10次所得放大倍数的平均值;σ——标准偏差,;n——测量次数(n=10)。五,显像管中心与四角边缘处倍率误差的测定5.1选定扫描电镜的放大倍数为100倍。将3mm直径的铜网安装在样品台上,获得图像后选取一个网孔,分别平移到显像管的中心和四个角,各拍一张照片。5.2用比长仪分别测量出5张照片上网孔像相邻两边的长度为x0,y0;x1,y1;x2,y2;x3,y3;x4,y4;△xi=xi-x0,△yi=yi-y0。式中i=1,2,3,4;△xi中的最大值为△xmax;△yi中的最大值为△ymax。5.3按公式(4)计算求得x方向图像线性失真度aa=Δxmax/x0(4)5.4按公式(5)计算求得y方向图像线性失真度bb=Δymax/y0(5)六,二次电子图像分辨率的测定6.1将碳表面喷镀金粒的标样安装在样品台上,在6~10万倍下,使扫描电镜调整到最佳工作状态,拍摄金粒的二次电子图像。6.2用比长仪测量照片上可分辨的金粒边界的最小间距S(nm)。6.3按公式(6)计算求得扫描电镜的分辨率r。r=—S/M(6)七,X射线能谱谱线分辨率的测定选取纯锰或电解锰的标样或者Co55标样安装在样品台上,使加速电压、物镜光阑、束流、计数率等均处于能谱分析工作状态,收取标样的X射线谱。利用能谱仪提供的计算分辨率的程序计算MnKa峰的半高宽,或利用谱图手算,即得X射线能谱谱线分辨率。八,X射线能谱仪元素分析范围的测定为了检定X射线能谱仪的元素分析范围,只需要确定出能够分析的最轻元素。按仪器说明书所标明的元素分析范围,将含Na、C或含B的标样安装在样品台上,使加速电压、物镜光阑、束流、计数率又处于能谱分析工作状态,收取标样的X射线谱。
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