场发射扫描电子显微镜工作原理及其在材料分析中的应用

学中心?Experimental Teaching Center for Materials Science and EngineeringР6Р扫描电镜光学系统及成像示意图Р电子枪Р聚光镜Р扫描线圈Р物镜Р试样Р信号?放大器Р二次电子探测器Р显示器Р扫描?放大器Р材料科学与工程实验教学中心?Experimental Teaching Center for Materials Science and EngineeringР7Р真空系统Р储气瓶Р镜筒РV1阀Р样品室Р挡板Р扩散泵Р离子泵Р机械泵Р离子泵手动阀Р主阀V5Р镜筒阀V4Р放气阀V6Р热偶规TC4Р冷规Р旁路阀V3РTC3РTC2РTC1Р扩散泵前级阀V2Р抽气管Р材料科学与工程实验教学中心?Experimental Teaching Center for Materials Science and EngineeringР8Р工作原理Р扫描电镜的工作原理方框图Р材料科学与工程实验教学中心?Experimental Teaching Center for Materials Science and EngineeringР在散射过程中入射电子所?损失的能量部分转变为热,部?分使物质中原子发生电离或形?成自由载流子(在半导体情况?下),并伴随着产生各种有用?信息,如:二次电子、俄歇电?子、特征X射线、特征能量损失?电子、阴极发光、电子感生电?导等。Р9Р工作原理Р材料科学与工程实验教学中心?Experimental Teaching Center for Materials Science and EngineeringР扫描电镜利用电子枪发射电?子束,电子束经过聚焦后在样?品表面扫描,激发样品产生各?种物理信号,信号经过检测、?视频放大和信号处理,在荧光?屏上显示出能反映样品表面各?种特征的扫描图像的显微镜。Р10