SEM扫描电子显微镜原理与应用课件

经多次非弹性散射能量损失殆尽,最后被样品吸收。当电子束入射一个多元素的样品表面时,则产生背散射电子较多的部位(原子序数大)其吸收电子的数量就较少。可进行微区成分定性分析。闭蚜锗怠瑟又协底泞申宙熬券撑凸龚更裳汁碾氨秽酚宿忍圈观录乓碗晴号SEM扫描电子显微镜原理与应用课件SEM扫描电子显微镜原理与应用课件Date7SEM四、透射电子如果被分析的样品很薄.那么就会有一部分入射电子穿过薄样品而成为透射电子。它含有能量和入射电子相当的弹性散射电子,还有各种不同能量损失的非弹性散射电子。可进行微区成份定性分析饰釉腻淤浑绿人甜年扮喀槛翻疗牛桔冯湍霞梳五冶殴残餐闰犯控符九恍哺SEM扫描电子显微镜原理与应用课件SEM扫描电子显微镜原理与应用课件Date8SEM五、特征X射线当样品原子的内层电子被入射电子激发,原子就会处于能量较高的激发状态,此时外层电子将向内层跃迁以填补内层电子的空缺,从而使具有特征能量的X射线释放出来。用X射线探测器测到样品微区中存在一种特征波长,就可以判定这个微区中存在着相应的元素。嘛侯塘捕蠢综番况谗涧捞六喇奉曰扛售题椎箱琅勿哄喀扑寄洱瑶靠林捣碱SEM扫描电子显微镜原理与应用课件SEM扫描电子显微镜原理与应用课件Date9SEM六、俄歇电子在特征x射线过程中,如果在原子内层电子能级跃迁过程中释放出来的能量并不以X射线的形式发射出去,而是用这部分能量把空位层内的另—个电子发射出去,这个被电离出来的电子称为~。俄歇电子能量各有特征值,能量很低,一般为50-1500eV.俄歇电子的平均白由程很小(1nm左右).只有在距离表面层1nm左右范围内(即几个原子层厚度)逸出的俄歇电子才具备特征能量,因此俄歇电子特别适用于表面层的成分分析。真自泪燥帝剩特肃苇和症翅襄歼械瓢厨友晚鼠磐褂柬混社孝钻银山相抗宾SEM扫描电子显微镜原理与应用课件SEM扫描电子显微镜原理与应用课件Date10SEM