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影响高世代TFT-LCD生产线液晶玻璃基板切割工艺的主要因素.pdf

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ndTechnologyInnovationHerald对高世代(第6代)TFT—LcD生产线的切割工艺来说,在不影响切割品质的情况下尽可能的提高刀轮的使用寿命是切割工艺的改善方向。因此,我们在TFT-LCD的实际生产过程中,首先必须保证切割部分的Chuck的水平度和C/V的平整度,使玻璃切割时刀轮处于同一水平面内,并且刀轮的压入量是一恒定值;其次必须选用合适的刀轮,高世代(第6代)线采用高渗透刀轮,高渗透刀轮经过加工,在刀轮外围形成一定的角度和齿轮,在切割玻璃基板时可以获得较深的垂直裂纹,得到较好的裂片效果;再次,要选择合适的刀压,刀压既不能太大,也不能太小,要在保证玻璃切割效果的前提下尽可能的减小刀压,尽量延长刀轮的使用寿命,降低生产的成本。其中,前两点工作是与设备硬件本身有关的改善措施,主要在设备安装时由设备厂商来完成,在设备安装好、设备的硬件已经固定、并且选定了刀轮的型号以后,影响切割品质的主要因素就是刀压的大小,因此工艺与设备维护工程9币在日常生产中改善切割品质主要应该集中于如何选择合适的刀压。随着刀轮使用距离的增加,刀轮的边缘会受到磨损,影响切割质量,为保证切割质量,就需要增加刀压。由于保证切割质量是在刀轮走一定米数,增加一定的刀压,因此,根据切割后DUMMY不掉的数据和PANEL报废的数据,以及此时刀轮的使用距离和刀压的大小,可以找出它们之间的函数关系式,从而推算刀轮使用多少距离时增加多少刀压才能保证最好的切割效果,根据这个函数关系式来在生产实践中对刀压进行调整,可以既保证切割品质又能降低公司的生产成本。4结语本文根据高世代(第6代)TFT—LCD生产中切割工艺的实际情况,分析了影响切割品质的主要因素,并根据这些主要因素,提出了切割品质的改进方法,并认为工艺与设备维护工程师研究改善切割品质的重点应该是如何根据刀轮的使用情况和当时的切割品质状况来使用合适的刀压。

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