磁控溅射旋转圆柱阴极靶关键技术的研究与结构设计-机械工程专业毕业论文

不同的磁轭厚度时 Bx 的磁场分布 20Р图 3-11 磁场分量 Bx 在有无挡板时的分布 21Р图 3-12 有无挡板时 Bx 的磁场分布 21Р图 4-1 溅射靶冷却结构................................................. 25Р图 5-1 磁化曲线和磁滞回线............................................. 32Р图 5-2 优化后的旋转靶阴极磁场结构..................................... 33Р图 5-3 优化前后 Bx 的磁场分布?33Р图 5-4 模型网格划分................................................... 34Р图 5-5 弯曲应力分布................................................... 34Р图 5-6 重力引起的变形................................................. 35Р图 5-7 旋转靶的驱动形式............................................... 35Р图 5-8 单列圆锥滚子轴承安装........................................... 37Р图 5-9 双列圆锥滚子轴承安装........................................... 37Р图 5-10 支撑水管与旋转轴的真空密封.................................... 38Р图 5-11 驱动轴的磁流体密封结构........................................ 40