、试验程序和步骤；Рb）?参试器件型号和数量；Рc）?器件敏感区面积和需要照射的面积；Рd）?待测器件样品板的几何尺寸、对固定支架的要求以及待测器件在样品板上的位置；Рe）?束流照射角度；Рf）?注量率的要求和照射的总注量。Р4试验场地Р单粒子试验环境示意图如图2所示。除测试板、测试线缆、电源和观测设备外，其余设施均由试验 场地提供。РРР图2试验环境示意图Р5.4. 1试验分类Р单粒子试验根据所处环境可分为大气试验和真空试验：Р大气试验通过束流引出窗（目前窗材料为直径30 mm,厚度30皿的Ti箔）将束流引到窗外在大 气环境下的定位辐照台上进行测试，定位台具有±150 mm上下和左右的平动行程，±100 mm的前后移动 行程以及±180。的旋转行程；Р真空试验是将测试板先放入副室中进行真空预抽，预抽完成后打开与主室的连接阀门，通过传递装 置将测试板交接给主靶室的四维定位台进行定位辐照，通过节省抽真空时间达到提高测试效率的目的。Р5.4.2真空试验结构Р准备样品架，将试验板固定在样品架上一次放进真空罐中，将样品架固定、打孔，如下图3所示。РР510РР图3样品架尺寸设计Р试验中，根据真空罐尺寸和测试、试验设备布局，对样品架进行功能区域划分，示意图如下图4 所示。РРР图4样品架各区域功能图Р在上图4中，斜杠部分为预留的加固测试架，将样品架固定在测试架上。测试架可以上、下、左、 右移动，出光口位置不变，实现对测试板上不同器件的照射。阴影为预留空间，放置粒子检测设备，用 于检测粒子种类和统计粒子数，不可用。剩余空白部分可用。Р参试试验板应满足一定尺寸要求，如下图5所示。РРР在试验中,Р1.转接板Р2.试验板安装在转接板上Р3.转接板安装在样品架上Р图6试验板安装过程示意图Р为对参试样品加电和通信、控制等，预留相应接插件，参加试验的全部样品均需要类似工装，示意 图如下图7所示。
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