的图形。Р显影机采用蜗轮杆转动方式,轴套采用高防腐耐磨材料精制而成,运行平稳。双毛刷采用可取卸装置,有独特的前显影加热,后烘干加热装置。潜入式结构,内循环浸泡处理.显影,刷洗,上胶,烘干,一气呵成。显影机的特点: 1.整机采用蜗轮杆转动方式,轴套采用高防腐耐磨材料精制而成,运行平稳,双毛刷采用可取卸装置 2.有独特的前显影加热,后烘干加热装置3.上下胶辊采用全包胶技术,高防腐,可自由取卸 4.潜入式结构,内循环浸泡处理;显影,刷洗,上胶,烘干,一气呵成5.二次水冲洗装置,方便修版后水洗上胶处理6.转动,倒转自如,有利于处理异常7.备有自动补液系统8.自动待机慢转功能,省水省电装置9.最新设计,轻型铝合金外壳,外观新颖独特,整机结构紧凑功能齐全,操作方便。见表2-1Р表2-1 Array基板的工艺流程表:Р工艺名称Р工艺目的Р清洗Р清洁基板表面,防止成膜不良Р溅(SPUTTER)Р成Al膜、Cr膜和ITO膜РP-CVDР成a-Si膜、n+a-Si膜和SiNx膜РPR/曝光Р形成MASK图案相一致的光刻胶图案Р湿刻(WE)Р刻蚀掉未被光刻胶掩蔽的金属膜Р干刻(DE)Р刻蚀掉未被光刻胶掩蔽的非金属膜Р剥离Р去掉残余的光刻胶Р二.工艺不良:Р 1.Dep前P/TРDep前P/T的辨别主要根据P/T的周围有无Discolor,区分为在Gate和S/D线上(A)和在像素区上(B)РSpec: <=30ea/glassР 2.Dep后P/TР一般Dep后P/T在清洗之后会去除РSpec: <=100ea/glassР 2.2 CF工艺Р所谓 Color Filter(CF)是为做彩色LCD,在玻璃上有序地涂红・绿・蓝 3种种颜色种颜色而制作成的基板。工艺流程如图2-3:Р图2-3 CF Process概要图Р 一.液晶面板各驱动方式和特性总结:液晶面板有TN,FFS,MVA三中驱动方式。
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