RDC(残余直流电压,residual dc voltage)和VHR(电压保持率,voltage holding ratio) ;Р2.PI膜表面张力、PI膜的致密性、PI膜的电阻;Р3.预倾角安定性、印刷性、摩擦削量。Р3.1.4 TFT-LCD生产中使用的PI液的典型特征:Р1. PI分子结构应具有较低的苯环含量(或者较高的脂环基团),从而提高光学透明性、电压保持率(VHR)以及降低残余直流电压(RDC)值;2.PI分子结构中含有一定链长的烷基代取或者含氟基团,从而保持其较高的预倾角;3.溶剂体系中包含纤维素类化合物,从而提高PI液的流平性。Р3.1.5 PI液的种类:Р1.PA型,如:Chisso的PIA-X696;2.PI型,如:日产的SE-8793;3.PI和PA混合型,如:JSR的AL21201(如下图所示)。Р PI型和PA型PI液的对比:Р型号Р优点?Р缺点РPAР1、低RDC;2、印刷性好Р低VHRРPIР1、高VHR;2、预倾角安定Р1、高RDC;2、摩擦削量多Р3.2 PI膜的成膜技术对比Р3.2.1 印刷成膜(PIS)技术原理Р利用A轮和刮到将PI液均匀地分布到P轮上装配的APR版上,通过P轮在基板上方的印刷转动从而在基板表面印刷上设计好规则的PI膜。Р 设备各装置的作用:Р装置名称Р作用РDispenserР喷出PI液Р刮刀Р刮均A轮上的PI液РA轮Р刮均PI液,将PI液转印到APR版上РP轮Р裹APR版РAPR版Р转印PI到基板上Р3.2.2涂布成膜(IJS)技术原理:Р将PI液由供给TANK输送至HEAD机构(共23个head头,每个head头有256个吐出孔),基板在STAGE上旋转一定角度,以往复涂布方式(即基板来回都进行涂布)进行PI膜的涂布。Р设备各装置的作用:Р装置名称Р作用Р供给TANKР放置和提供PI液РHEAD机构Р涂布PI液
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