”。随着科学技术的发展,现在几十微米的膜也称为薄膜。Р* 田民波,刘德令。薄膜科学与技术手册,机械工出版社1991。Р二、薄膜的作用Р薄膜的作用在于改进基底的性能或功能。?1、实现特定的光学特性? 光学薄膜? AR; HR; IR-cut; filter; RGB ?2、优化表面性能,改善表面特性? TiN,SiC,DLC,DF?3、进行微细加工,实现微制造;? 电子线路;光学薄膜;生物薄膜;……?4、产生新功能特性? 滤光片;场效应管;传感器;……Р三、薄膜的分类及材料Р薄膜分类?按照薄膜的材料:金属薄膜、介质薄膜、半导体薄膜?按照薄膜的用途:光学薄膜、导电薄膜、工具薄膜—保护薄膜(耐摩擦磨损、抗酸碱盐腐蚀)、电子薄膜—存储薄膜、传感薄膜(气敏、光敏、烟雾、压电等)、超导薄膜、装饰薄膜。?薄膜材料?一般指固体薄膜;但也存在气体薄膜(空气轴承)和液体薄膜(向列型液晶薄膜)。Р四、薄膜的制备方法Р镀膜方法Р湿法Р干法РCVDРPVDР电镀Р化学镀Р常压CVDР低压CVDР光CVDР金属有机物热分解CVDРPECVDР热蒸发Р离子束辅助蒸发Р溅射Р离子镀Р射频、直流、射频直流、直流脉冲、微波Р高温、中温Р五、光学薄膜的理论基础Р光的本质:?遵守的基本物理定律:?光学薄膜的特殊性: 多层膜计算Р0РРn0РnРngРhР六、光学薄膜的应用Р眼镜镀膜----AR 幕墙玻璃?滤光片液晶领域?车灯、冷光镜、舞台灯光滤光片?光通信领域:DWDM、光纤薄膜器件?红外膜?激光领域----激光反射腔高反射膜?CD、DVD驱动器?投影显示?数码领域Р规整膜系:?各层薄膜的光学厚度为设计波长的四分之一。?设计波长(参考波长、中心波长)?膜系:G/HLM/A?G代表基底?H(L、M)代表高(低、中)折射率膜层并且光学厚度为设计波长的四分之一?A代表出射介质(一般为空气)Р第二节光学薄膜的基本类型
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