70mm,分辨率为5nm的LIP401型测量长度可达220mm;精度上,HEIDENHAIN的LIP401的准确度为±0.2μm(ML≤220mm),±0.1μm(ML≤100mm),俄罗斯的全息光栅精度是±0.1μm,LG100光栅系统分辨率可达0.1nm,测量范围100mm,精度±0.01μm[,8]。单从分辨率和精度上看,光栅技术可以和激光干涉技术相媲美,对环境的要求相对较低,可以满足纳米精度的使用要求,特别是相位光栅,是一种非常有前途的精测量工具。2超精密三坐标测量仪整机机构介绍2.1总体布局三坐标测量仪是近三十年发展起来的一种高效率的新型精密测量仪器。它以精密机械为基础,综合电子技术、数控技术、计算机技术以及精密位移技术为一体的高技术、高精度、高效率的精密仪器,并广泛用于机械制造的检测、电子、汽车和航空航天等工业中。可以进行零件和部件的尺寸、形状及相互位置的检测,例如箱体、导轨、蜗轮和叶片、缸体、凸轮、齿轮、形体等空间型面的测量。此外,还可用于画线、定中心孔、光刻集成电路等,并可对连续曲面进行扫描及制备数控机床的加工程序等。由于它的通用性强、测量范围大、精度高、效率高、性能好、能与柔性制造系统相连接,已成为一类大型精密仪器,有“测量中心”之称。我这次设计的超精密三坐标测量仪总体布局如图2-1所示。结构整体为移动桥式结构,这种结构简单、紧凑、刚度好,具有较开阔的空间。工件安装在固定的工作台上,承载能力较强,工件质量对测量仪的动态性能没有影响;工作台采用人造花岗岩材料,其主要优点是变形小、稳定性好、不生锈,易于作平面加工,易于达到比铸铁更高的平面度,适合制作超精密的平台;横梁和Z轴采用陶瓷材料,在保证所需要的刚度的同时,减少了本身的重量,保证测量仪的测量精度;X向、Y向、Z向均采用气体静压导轨,使测量仪在运动时有足够的精度;X向、Z向采用摩擦杆驱动,Y向采用刚带传动。
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