精密仪器设计?DesignofPrecisionInstrument本章内容:§6.1调焦技术概述§6.2自动调焦类型§6.3自动调焦方法§6.4调焦技术应用第六章自动调焦技术自动调焦(Autofocus)技术是精密仪器中提高仪器精度的重要手段,有着广泛应用。目的——建立统一评价标准,快速获得高清晰度图像。调焦——沿光轴方向调整位置(1DOF);调平——调整成像平面与光轴垂直(2DOF)。§6.1调焦技术概述调焦精度——0.1m调焦范围——40m调平精度——0.1m/2424mm2“863”重大专项“集成电路制造装备”—下一代光刻机超精密工件台原理——如图所示,由几何光学基本概念——1.分辨率减小波长λ减小系数k值提高数值孔径NA提高折射率n提高分辨率措施——激光束物镜SIL近场间距核心技术:◈光学系统设计◈近场间距控制深亚微米飞行系统研究相移掩膜技术(PSM)2.焦深按不同标准进行分类——调焦方法手动——人眼检测,手动调整,效率低,精度差自动——自动检测、自动调整;效率高,精度高,?结构复杂,成本较高调焦原理直接——对焦点及其偏差的直接检测间接——对物面到透镜的距离检测离焦信息直接检测象边缘的光强分布——检测离焦信息把理想成像物面作为参考面——检测相对信息自动调焦§6.2自动调焦类型
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