第讲移相干涉术

sin cos )( 2 1aaaI???其中 a 1=b cos ?,a 2=b sin ?(*) (*)式为关于变量 a、a 1、a 2的三元一次方程。使用最小二乘法,可以求出 a 1、a 2 ,从而得出位相?最小二乘法求解最小二乘法求解 3,..., 2,1 ),(???NNit ii??取?? Min aaaI Ni iii?????? 2 1 21 sin cos??根据最小二乘法原理,有)()( 12 1iiBAa a a??????????????得求解位相求解位相??????????????????? iiii iiii ii iNA??????????? 2 2 sin sin cos sin sin cos cos cos sin cos )( ?????????????? ii ii iiI I IB??? sin cos )(????????? 1 2a a arctg ?于是,有四步移相干涉四步移相干涉 I 0 = a+ b cos (?) = a+ b cos ? I 1 = a+ b cos (?+?/2) = a - b sin ? I 2 = a+ b cos (?+?) = a - b cos ? I 3 = a+ b cos (?+3 ?/2) = a+ b sin ???????????? 20 13 tan II IIa?移相式干涉仪移相式干涉仪 Zygo GPI xp Wyko 4100 国产移相式干涉仪国产移相式干涉仪斐索型, ? 100 ,平面、球面,卧式泰曼型, ? 80/30 ,平面南京理工大学研制, 2005 年获国防科工委科技进步一等奖国产移相式干涉仪国产移相式干涉仪 1英寸,平面、球面,立卧两用? 150 ,平面,立式南京理工大学研制, 2004 年获江苏省科技进步二等奖