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第4章 光学干涉测量技术

上传者:随心@流浪 |  格式:ppt  |  页数:85 |  大小:8705KB

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的影响及其空间相干性? 干涉条纹的照度很大程度上取决于光源的尺寸。而光源的尺寸大小又会影响到各种干涉条纹的干涉图样对比度。? 平行平板的等倾干涉: 对比度与光源大小无关? 杨氏干涉:只有利用狭缝限制光源尺寸,才能获得干涉条纹? 楔形板形成的等厚干涉:介于上述两种情况之间。Р第7页/共85页Р§4.1 干涉测量基础Р8Р武汉大学电子信息学院Р如图,光源为被均匀照明的直径为r的光阑孔。光阑孔上不同点S经准直镜后变成与光轴具有不同夹角θ的平行光束。设准直镜焦距为f’,小孔光阑的中心点为S0,则:Р 不同θ角的平行光束经干涉仪后被分成两束相干光,到达干涉场中同一点的光程差各不相同,因此各自形成的干涉条纹彼此错位。Р第8页/共85页Р§4.1 干涉测量基础Р9Р武汉大学电子信息学院Р所有干涉条纹进行强度叠加,形成视场中见到的干涉条纹。条纹度比度直接取决于光阑大小。Р如图所示。设光阑半径为rm0,应用物理光学知识可以证明:Р 式中h是虚拟空气楔厚度。可见,为保证干涉仪的空间相干性,采用长焦准直镜,采用尽可能相等的两臂长,减小空气楔厚度是必要的。РK≥90%Р第9页/共85页Р§4.1 干涉测量基础Р10Р武汉大学电子信息学院Р(3)光源非单色性影响与时间相干性? 能够发生干涉现象的最大光程差与光源的谱线宽度成反比。?若干涉测量中用到的光源本身有一定的谱线宽度,对应波长为? 和λ-Δλ/2两组干涉条纹的强度分布,其他波长的光对应的干涉条纹强度分布介于两根曲线之间。干涉场中最终形成的干涉条纹是这些干涉条纹叠加的结果。? 可见,在零级时,各波长的干涉极大重合,之后慢慢错开;干涉级次越高,错开的距离越大,合强度峰值逐渐变小,对比度逐渐下降。对线宽为Δλ的光源,其最大波列长度为:Р 表4-1(p77)给出了常用光源的相干长度的理论值。实际的相干长度往往会小于相干长度的理论值。Р第10页/共85页

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