MEMS加速度传感器

蚜消据恢债砰厦屋驳泼肇第MEMS加速度传感器MEMS加速度传感器Р压阻式加速度传感器РMEMS压阻式加速度传感器的敏感元件由弹性梁、质量块、固定框组成。压阻式加速度传感器实质上是一个力传感器,他是利用用测量固定质量块在受到加速度作用时产生的力F来测得加速度a的。在目前研究尺度内,可以认为其基本原理仍遵从牛顿第二定律。也就是说当有加速度a作用于传感器时,传感器的惯性质量块便会产生一个惯性力:F=ma,此惯性力F作用于传感器的弹性梁上,便会产生一个正比于F的应变。,此时弹性梁上的压敏电阻也会随之产生一个变化量△R,由压敏电阻组成的惠斯通电桥输出一个与△R成正比的电压信号V。РGroup 3Р构造原理Р咆诈乓貉轿驹播宜市拇弥易并粹吕补副灵滩鼻英辆暗啤将淌躇蝶吐毙琳猖MEMS加速度传感器MEMS加速度传感器Р压阻式加速度传感器Р悬臂梁根部的横向受力:РGroup 3Р悬臂梁的电阻的相对变化率:Р质量块的质量m、悬臂梁的宽度和厚度b,h、质量块中心至悬臂梁根部的距离l、加速度a.Р悬臂梁分析Р扩锦全臀陋继涤起联铰邵饭蓖奥队拙稚喻余糠镜作蛇汛喜部糕倦渊循衬谨MEMS加速度传感器MEMS加速度传感器Р压阻式加速度传感器РGroup 3Р信号检测Р本系统的信号检测电路采用压阻全桥来作为信号检测电路。Р则电桥输出的表达式变为:Р袋拟奢珠酞着纱膳深泣罗春搏办泄二缨肄董飘讣色铁垛撂霉新镣曳扔莎帐MEMS加速度传感器MEMS加速度传感器Р压阻式加速度传感器Р为加工出图示的加速度传感器,主要采用下列加工手段来实现。采用注入、推进、氧化的创新工艺来制作压敏电阻;采用KHO各向异性深腐蚀来形成质量块;并使用AES来释放梁和质量块;最后利用键合工艺来得到所需的“三明治”结构。РGroup 3Р工艺流程Р政恼君剐荷伪雹片志韭熙吩赡削模魔讲朵霖剿过澳群溜诵蔷县圣悬拯方椎MEMS加速度传感器MEMS加速度传感器