0mm 左右应提 A 段,,以 2mm/min 左右的拉速提 A 段,整个行程Р为 3-3.5 小时。然后盖上翻板阀,在内冷却半小时。然后取出?A 段棒Р重新拉制。如果在范围以内,回熔时必须操作工盯在炉上,回熔时需Р注意防止晶体回熔过快戳在石英坩埚底部避免产生渗硅事故;?或者温Р度过高在回完的时候引起硅跳,把料溅到导流筒,保温罩,加热器上Р的事故发生。回熔完后重新找温度与埚位重新引晶。Р11.收尾:在等径达到投料所需的长度时,须要收尾,将直径与Р温校控制器退出自控, 切入自动收尾。 但操作工必须在刚开始收尾时Р盯住,根据现场情况给温校速率,给定拉速。在收尾过程中是看着光Р圈收尾。当光圈收进时应降底拉速,当光圈长大时应提高拉速。同时Р也观察是否有结晶与料少的情况。 (埚跟比分两种方式降: 1,直接将Р埚跟比降到零; 2,分两次降到零,第一次降?50%,收到 50mm 以后Р再降到零。)Р12.停炉:收尾完成后,降埚位,使晶体脱离液面?20mm 左右,Р关加热电源,停埚转,把控制器上的参数返回到引晶前的参数。然后Р以 2.5-3mm/min 拉速提升晶体 ,慢慢脱离高温区 .4 个小时后进行热检 ,Р抽空到极限 ,关球阀检漏 .泄漏率小于 3 分钟 1 帕。Р13.下次开炉准备:观察记录表,对每个部件的使用炉数做到心Р里有数, 拆炉后须认真检查; 对过滤罐与换油的记录做到此次拆炉是Р否需要过滤罐与换油,保证做到过滤罐每炉清,换油?6 炉换一次。Р14.大清:在拉晶过程中会产生挥发物过多,经过一段时间过后Р就必须要对设备进行大清一次, 在清理的过程中必须要清理夹头,?重Р锤,与炉子内部的石墨系统。清理挥发物,更换破损石墨件,有时候Р需要更换碳毡。检查各个传动部份及电器部件,及时维护保养。Р15.记录:以上每个步骤操作工必须做好详细记录,并认真填写Р好操作记录,以便于查找一些问题。
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