直拉单晶工艺流程简介Р晶体事业部?2011年3月Р2Р直拉单晶演示图Р生产单晶的方法?1、直拉法?2、区熔法?目前晶体事业部单晶生产制造部生产单晶的方法主要为直拉法。Р直拉法制备硅单晶过程:Р 把多晶硅放入石英坩埚,在单晶炉内利用加热器将硅原料熔化;然后用一根设定晶向的籽晶插入熔体表面,待籽晶与熔体充分熔接后,慢慢向上提拉籽晶,晶体便在籽晶下端生长。Р籽晶轴(钢缆)Р提升装置Р籽晶和夹头Р加热器Р石英坩埚Р直拉法晶体生长概念Р熔硅Р晶体Р晶体旋转(逆时针)Р坩埚旋转(顺时针)Р直拉单晶设备主要组成Р上炉室Р隔离阀室Р下炉室Р坩埚提升旋转机构Р基座Р控制柜Р炉盖Р晶体提升旋转机构Р观察窗Р急停按钮Р电压表Р电流表Р主加热器功率表Р底部加热器功率表Р触摸屏Р主泵开关按钮Р副泵按钮Р炉筒液压升降按钮Р炉盖液压升降按钮Р副室旋转开关Р加热器开关Р总控开关Р键盘盒Р应急操作区Р阀值检测器Р晶盛单晶炉电控柜说明РKAYEX PV110单晶炉控制柜说明Р应急开关Р控制电源开关Р加热功率显示Р加热电源开关Р磁场开关Р主泵控制按钮Р副泵控制按钮Р副室升降按钮Р炉筒炉盖磁场转换开关Р应急操作区Р触摸屏Р总控开关?急停按钮Р当总控开关打到?OFF档或者旋转?按下急停按钮时?整个电控柜电源?会马上关闭,用?于紧急情况,如:?停水、大量漏水。Р加热器开关按钮:用于开关加热器,绿色按钮开启状态,红色按钮关闭状态(30秒延时)。Р注:加热器必须在炉盖合上、冷却水充足、加热电源无故障的条件下才可开启。如无法开启加热器,请检查以上开启条件是否满足。Р开启状态Р关闭状态Р晶盛触摸屏:作为主要人机界面,承担了拉晶过程的绝大部分操作。Р信息提示栏Р工艺状态显示Р参数显示区Р中英文切换Р炉体控制主操作?选择Р闭环控制Р工艺参数切换显示区
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