行业标准《氯硅烷中碳杂质的测定方法 甲基二氯氢硅的测定》...

两次独立测试结果的绝对差值不超过再现性限(R),超过再现性限(R)的情况不超过5%,再现性限(R)按表2数据采用线性内插法求得。表2再现性限质量分数/%允许差/%0.0001~0.00100.0010~0.0100.010~0.100.10~1.00三、标准水平分析通过文献检索,网上查询,国际无相关标准,本标准属于首次修订,规定了氯硅烷中碳含量检测方法,达到国内先进水平。四、与我国有关的现行法律、法规和相关强制性标准的关系本标准属于多晶硅生产行业氯硅烷中碳含量的分析方法标准,与现行法律、法规和相关标准相协调、无冲突。五、重大分歧意见的处理经过和依据编制组根据起草前确定的编制原则进行了标准起草,标准起草小组前期进行了充分的准备和调研,并做了大量调查论证、信息分析和实验工作,在主要技术内容上,行业内取得了较为一致的意见,标准起草过程中未发生重大分歧意见。六、标准作为强制性标准或推荐性标准的建议及其理由本标准为氯硅烷中碳含量的测定方法标准,适用于多晶硅生产过程中氯硅烷中碳含量的测定,建议本标准作为推荐性行业标准发布实施。七、贯彻标准的要求和措施建议(包括组织措施、技术措施、过渡办法等内容)本标准为氯硅烷中碳含量的测定方法标准,适用于多晶硅生产过程中氯硅烷中碳含量的测定,为使标准能更好地发挥作用,提高生产过程中氯硅烷中碳含量的检测控制。建议针对标准《氯硅烷中碳含量的测定气相色谱质谱联用法》制定切实可行的贯彻措施,使各相关单位的质检部门充分掌握标准中所规定的检测方法,让标准在多晶硅生产过程中得以广泛推广。同时,对标准执行情况进行跟踪调查,及时发现标准执行中的问题,不断修改完善,提升标准水平,提高标准的科学性、合理性、协调性和可操作性。八、代替或废止现行有关标准的建议本标准是对YST987-2014《氯硅烷中碳杂质的测定方法甲基二氯氢硅的测定》的修订替换。标准编制组2019年7月31日