析该样品。验证结果表明本标准方法重复测定结果好,满足该标准方法中再现性限的要求,具体内容见实验报告。2.9重复性和再现性依据GB/T6379.2确定标准测量方法的重复性和再现性的基本方法,对表1和表2中的实验数据进行数据处理。依据GB/T6379.6-2009规定的方法,在95%的置信度下,采用经验法,实验室内测定重复性标准差为Sr,重复性限r=2.8Sr,验证实验室间测定标准差为SR,再现性限R=2.8SR。检测方法的重复性限、再现性限见表3和表4。表3重复性限含量范围,%0.100.501.005.0010.00重复性限,r,%0.010.020.030.070.08表4再现性限硅烷含量/%0.101.0010.00再现性限R/%0.010.040.08三标准水平分析通过文献检索,网上查询,国内还没有统一的《多晶硅生产尾气中硅烷含量的测定气相色谱法》标准,各生产单位针对硅烷法生产多晶硅尾气中硅烷含量的检测制定了各自的企业标准。经过检索,国际也无相关标准,本标准属于首次制定,规定了多晶硅生产尾气中硅烷含量的检测方法,达到国内先进水平。四与现行相关法律、法规、规章及相关标准,特别是强制性标准的协调性本标准属于多晶硅生产尾气中硅烷含量的化学分析方法标准,与现行法律、法规和相关标准相协调、无冲突。本标准属于首次制定标准。五重大分歧意见的处理经过和依据编制组根据起草前确定的编制原则进行了标准起草,标准起草小组前期进行了充分的准备和调研,并做了大量调查论证、信息分析和实验工作,在主要技术内容上,行业内取得了较为一致的意见,标准起草过程中未发生重大分歧意见。六标准作为强制性或推荐性国家(或行业)标准的建议本标准为多晶硅生产尾气中硅烷含量检测的化学分析方法标准之一,适用于多晶硅生产尾气中硅烷含量分析的一般性通用要求,建议本标准作为推荐性行业标准发布实施。标准编制组2017年07月28日
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