温控】、【生长控制】、【坩埚跟踪】、【压力控制】Р六个闭环控制按钮以及【升温控制】按钮。Р2.4 抽真空Р(1)确认主真空泵和副真空泵一切正常后,按“主真空泵开”按钮启动机械泵;Р(2)对装有较多粉料的炉子,将节流阀手动调节至零;Р(3)在主界面选择【工艺选择】按钮,系统显示自动工艺选择画面;Р(4)在自动工艺界面选择【开始自动拉晶】按钮,系统将显示下面的界面;Р(5)输入操作员工号及单晶编号后按确定按钮,系统显示检查 1 画面;Р(6)根据界面提示检查无误按确定按钮,系统显示检查 2 画面;Р(7)根据界面提示检查无误按确定按钮,系统跳转至抽真空工序界面并运行抽空工序;Р(8)系统进入抽真空工序,程序将依次打开主真空球阀、智能蝶阀,整个抽空工序将依据 SOP 工艺参数Р自动执行;Р(9)过程中根据工艺设定自动关闭或打开主真空球阀、氩气阀连续冲洗炉子若干分钟,然后将炉内压力抽至极限,这样可有效排除炉内空气、水气,获得较洁净的晶体生长环境。Р2.5 检漏Р(1) 当信息栏提示抽真空完成蜂鸣器报警时,在抽真空工序界面按【工艺选择】按钮进入工序选择界面;Р注意:可以让控制系统在完成抽真空后自动跳转到检漏,而不用人为切换。设置方法如下:按【系统维护】按钮再按【工艺设置】按钮进入工艺设置界面,在“自动进入检漏工艺”前打√;如果没有打√, 则在抽真空完成之后系统会报警提示抽真空完成,这时就需要手动在“自动工艺(返回)”界面下手动切入“检漏”步骤。其他的自动步骤都是如此。Р(2)选择【检漏】按钮确定后系统跳转至检漏工序界面并运行检漏工序;Р(3)程序自动关闭主真空球阀并延时 30 秒后开始检测泄漏速率,两分钟后将泄漏率显示在工艺参数切换Р显示区内。Р注意:若泄漏过大(大于 50mTorr/hr),可手动充几次氩气后再检漏;因存在漏点造成漏率超标的,查补Р漏点后应重新执行抽真空/检漏工序。
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