制——功率闭环时加热器Р 功率最大限制。Р l 加热器报警电阻下限——当石墨加热Р 器电阻低于此值时进行报警提示,用Р 于内部短路等诊断。Р l 加热电能——计算电能消耗量Рl 热场温升控制界面Р l 此界面用于手动设置热场温升速率,Р 在自动工艺中都可以设置这个温升速Р 率,对程序产生的温升速率进行累加Р 干预。Р l 温升速率为正时进行升温,为负时进Р 行降温。Р Р Рl 液面温度控制界面Р l 此界面用来稳定熔液面温度,在稳定Р 化、熔接时作用。Р l 程序通过调节热场温度达到液面温度Р 的控制。Р Р 第8页Рl 生长控制界面Р l 此界面用于晶体生长过程补温控制。Р l 按下 RAMP 按钮时,设定生长速度依Р 照工艺文件中等径斜率表计算,此时Р 框底色为灰色,人工不可修改;按下Р FIXED 按钮时,设定生长速度框底色Р 为黄色,可以人工设定。修改后再按Р 下 RAMP 按钮时,设定生长速度与斜Р 率表一直保持修改时的偏差。Р l GAIN 为补温增益参数。按下 GAINР 按钮参数可修改。在修改前需要在辅Р 助功能下解除参数锁定。Р l RATE 为补温自主学习项,主要调整Р 后期补温速率。在修改前需要在辅助Р 功能下解除参数锁定。Рl 坩埚跟踪控制界面Р l 此界面用来进行坩埚跟踪控制,以稳Р 定拉晶熔液面的位置。Р l 按下 RAMP 按钮时,CL/SL 值依照工Р 艺文件中 CL/SL 表计算,此时框底色Р 为灰色,人工不可修改;按下 FIXEDР 按钮时,CL/SL 值框底色为黄色,可Р 以人工设定。修改后再按下 RAMP 按Р 钮时,CL/SL 值与 CL/SL 表一直保持Р 修改时的偏差。Р l 当手动隔离后,程序无法自动计算坩Р 埚内剩余重量,需要手动修改投料量Р 进行修改。Р 注:自动隔离程序时程序自动进行计算不需要手动修改投料量。Р 第9页
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