锈钢小车上。5)先取下加热器螺丝盖,再用专用工具取下加热器螺丝后,取下加热器螺丝和加热器放在不锈钢小车上。6)依次取出电极护套、电极石英环、埚杆护套、炉底上压片、炉底上压片下小石墨碳毡、排气套管、下保温罩、炉底压片、炉底碳毡、石墨电极等放在不锈钢小车上。在不锈钢小车边挂上石墨件炉号牌,移到指定的位置,自然冷却,移动过程中注意石墨件放置,防止坠落。E.真空过滤器清洗a.准备好吸尘刷、吸尘管、酒精、纸巾、扳手,带好手套、防尘口罩。b.先打开真空过滤器盖充气阀充满气,再关闭充气阀。c.用扳手打开真空过滤器盖螺丝,取出过滤网。d.用吸尘刷仔细清洗过滤网及过滤器内的挥发物。e.将清洗后的过滤网缓慢放进过滤器内。f.用吸尘刷清洗过滤器盖,用沾酒精的纸巾擦净密封圈,并检查密封圈是否完全就位,防止出现脱落或出槽影响抽空。g.盖好过滤器盖并用扳手上好过滤器盖螺丝。F.真空泵油检查、更换,真空泵清洗(每炉检查真空泵油位,每5炉更换真空泵油,每15炉清洗真空泵)a.确认关闭主泵球阀和真空泵,在放油单晶炉上挂检修牌,将废油桶置于真空泵放油口下方,打开上下腔放油开关,放完油后关闭上下腔放油阀,废油倒入指定油桶。b.清洗真空泵,用扳手打开真空泵侧盖,置于适当位置,用毛巾彻底清理真空泵腔、侧盖和下腔滤油网的油污,清洗完毕后,安装好滤网,安装好侧盖。侧盖在打开、安装时小心操作,防止损坏侧盖及油封而漏油。泵腔内禁止遗留纸屑或其它异物,不然会造成油路的堵塞导致真空泵卡死。清理真空泵的废弃物放入指定垃圾桶。c.打开真空泵注油口,将真空泵油注入真空泵注油孔,观察真空泵油位至油位观察窗1/2位置,停止注油,打开泵侧的油路管道阀门向下腔放油,关闭油口。d.启动真空泵工作5min后关闭泵侧的油路管道阀门,察看油位是否处于油位观察窗1/3----1/2位置,关闭真空泵,在放油单晶炉上移去检修牌。若低于下限重复c、d操作。
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