mm。Р 4) 籽晶软轴的对中确认:在籽晶夹头上装上锥形对中工具,在坩埚轴上装上对中刻Р度盘。籽晶软轴下降接近固定在坩埚轴上的刻度盘(不能碰到刻度盘),籽晶软轴的转速Р12rpm 时,目测锥形工具头部偏离刻度盘中心的刻度,其偏差应小于φ 5mm。Р 5)对炉体真空度的确认:打开主泵阀门抽真空,再打开手动阀(注意:在打开手动Р阀时要非常缓慢,过快气流会影响真空计的精度),对炉腔抽真空 80min,看真空压力传Р感器的读数,应小于 60mTorr。Р 6)对炉体压升率的确认:打开主泵阀门抽真空,再打开手动真空阀,对炉腔进行抽Р真空,待真空压力传感器读数小于 3Pa 后,关闭主阀进入自动检漏程序看真空压力传感Р器读数上升值,应小于 6Pa。Р 7)对 Ar 压力的确认:打开 Ar 气阀门查看压力表读数,其压力应大于 0.2MPa。Р 8)对 Ar 流量的确认:点操作界面上 Ar GAS,设定 Ar 流量为 100,查看显示器上 ArР流量的读数,其误差量应在 100±3L/min 范围内。Р 9)对坩埚转轴行程的确认:①手动操作面板上 Crucible UP/Down 按扭,使坩埚转Р轴上升到上极限位置,测量坩埚转轴上平面与炉底盘的炉腔底面距离应在 30mm 左右。Р 0Р②坩埚转轴在上极限位置与下极限位置的距离应在 500 -10mm。注意:上述行程是坩埚转轴Р的极限行程。客户使用时根据自己的热场决定使用行程的哪一段,但所使用的行程必须Р 0Р控制在坩埚转轴极限行程(500 -10mm)范围内。Р5.4 试运行前的准备: Р 设备初步试车前,必须认真清理各传动部位中的灰尘及防锈油,使设备恢复出厂前Р的润滑状态。否则可能造成设备的不正常磨损,甚至可能导致损坏。检查各处的限位保Р护是否可靠。送电前各运动部位应先用手动进行试动作,通电后也应先进行点动确认各Р动作的准确性。Р 9/39
全文预览
