片表面时,Р向溶液中加入表面活性剂,活性剂分子会借助润Р湿作用迅速在硅片和颗粒的表面铺展开,形成一Р层致密的保护层.活性剂分子亲水基会与硅片表Р面形成多点吸附,颗粒在硅片表面移动时,渗透Р压使溶液中自由的活性剂分子及已吸附的活性剂Р分子的亲水基上未吸附的自由部分积极地向硅片Р与颗粒的接触缝隙间伸人,随时与硅片和颗粒上Р出现的剩余自由键相吸引,结合,促使硅片与颗Р粒间作用的键力越来越少,颗粒与硅片的吸附力Р不断减弱,最终将整个颗粒从硅片表面分离开.Р活性剂分子在硅片和颗粒表面形成致密的质点保Р护层,防止颗粒与硅片形成二次吸附,至此完成Р了颗粒从硅片表面的解吸[12-14].Р当固体颗粒团块受到机械力作用时,会产生Р微裂缝,但它很容易通过自身分子力的作用而愈Р合.当分散介质中有表面活性剂存在时,它能很Р快地定向排列在固体颗粒的表面上,使固体颗粒Р的表面或界面张力有明显的降低.表面活性物质Р在颗粒的表面上的覆盖率越大,表面张力降低得Р越多,则系统的表面吉布斯函数越小.因此表面Р活性物质不仅可自动吸附在颗粒的表面上,而且Р还可自动地渗入到微细裂缝中去并能向深处扩展,Р产生一种"劈裂作用",见图3.在这种劈裂力的Р作用下微裂缝不但无法愈合,而且越来越深和扩Р大,有的最后被分裂成更小的颗粒,分散性提高,Р悬浮性也随之提高.表面活性物质的浓度足够大Р时,液体中的颗粒会被憎水基向内,亲水基向外Р的活性物质分子包围着,相互间斥力大于引力,Р所以相互间分散性好,且沉淀后易摇起;悬浮性Р好,可以使研磨用的金刚砂均匀地悬浮起来,使Р硅片在研磨时受力均匀.Р图3劈裂作用Р3.2分子结构对活性剂的影响Р表面活性剂的效率是指使水的表面张力明显Р降低所需要的表面活性剂浓度.表面活性剂的有Р效值则是指该表面活性剂能够把水的表面张力可Р能降到的最小值.当憎水基团链长增加时,效率Р@微纳电子技术2007年第4期
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