洁净室(区)环境测试管理规定

态警戒限Р动态警戒限Р≥0.5µmР≥5.0µmР≥0.5µmР≥5.0µmРA级Р粒/立方米Р2800Р16Р3200Р16РB级Р粒/立方米Р2800Р25Р320000Р2500РC级Р粒/立方米Р280000Р2500Р3200000Р25000РD级Р粒/立方米Р2800000Р25000Р未规定Р未规定Р300,000级Р粒/立方米Р8400000Р55000Р---Р---Р5.5.4.2 微生物测试结果警戒限度Р洁净级别Р空气样Рcfu/m3Р微生物污染警戒限度Р沉降碟(Φ90mm)Рcfu/4小时Р接触碟(Φ55mm)Рcfu/碟Р5指手套Рcfu/手套РA级Р--Р--Р--Р--РB级Р4Р2Р2Р3РC级Р45Р20Р10Р----РD级Р90Р45Р20Р----Р5.5.4.2 微生物测试结果纠偏限度Р洁净级别Р空气样Рcfu/m3Р微生物污染纠偏限度Р沉降碟(Φ90mm)Рcfu/4小时Р接触碟(Φ55mm)Рcfu/碟Р5指手套Рcfu/手套РA级Р--Р--Р--Р--РB级Р8Р4Р4Р4РC级Р90Р40Р20Р----РD级Р180Р90Р40Р----Р5.5.4.3 洁净区(室)悬浮粒子测试时,若单次采样结果超过对应级别警戒限度,应对该点重新采样两次,若两次重新采样结果均较好,则按两次测试结果的均值计数,若两次测试结果中有一次或两次均超过警戒限,则及时通知车间,采取措施。微生物监控结果超过相应级别纠偏限度时,及时通知车间采取措施。Р5.6 结果判定Р5.6.1 悬浮粒子测试结果判定Р判断所测试区域悬浮粒子洁净度是否符合规定,计算结果必须满足下述二个条件:Р5.6.1.1 每个采样点的平均粒子浓度必须不大于规定的级别界限,即Ai≤级别界限。Р5.6.1.2 全部采样点的粒子浓度平均值的95%置信上限必须不大于规定的级别界限,即UCL