激光加工、超声加工、电子束加工等。微小孔主要的加工方法加工方法:微细钻削加工微细钻削刀具目前,应用于切削加工的微细钻削刀具多数采用麻花钻,麻花钻具有正前角、双切削刃、螺旋排屑槽,切削效率高,排屑容易。但是,螺旋排屑槽的存在大大影响了麻花钻的刚度、强度,商业生产的微细麻花钻的直径可以达到0.1mm左右。微细刀具的制作方法主要有:聚焦离子束(FIB)溅射、精密微细机械磨削、电火花线电极磨削(WEDG)等加工方法。微细钻削加工drillsareavailableindiametersfrom0.30mmto1mmin0.05mmincrementswithaflutelengthfrom10to50mm.Offeredwithanoveralllengthfrom60to110mm.Novelmicrodeepdrillingusingmicrolongflatdrillwithultrasonicvibration20μmdiameterand200μmflutelength微钻削理论微细钻削加工微细钻削加工优势:生产效率高、加工成本低,不受材料导电性能限制表面质量和加工精度较高等特点。存在的问题:(1)钻头制造困难,且随着钻头直径的减小,其刚度、强度显著降低,极易在切削力或机床振动等作用下折断。(2)容屑空间小,切屑难以排出(3)由于加工区域散热差,钻头的温度较高,使用寿命短。(4)需要采用很高的转速,一般要求在10000r/min以上,并且要求主轴的回转误差极小。(5)不能加工比刀具硬的材料。电解加工微小孔的电解加工工艺研究陈辉,王玉魁,王振龙-《电加工与模具》-2010电解加工微小孔的电解加工工艺研究陈辉,王玉魁,王振龙-《电加工与模具》-2010电解加工的微细电极分别在H2SO4和NaClO3+EDTA溶液加工的孔分别在NaCl和NaClO3溶液中加工的孔孔的一致性实验
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