制板设备,包括图形发生器、接触式打印机、抗腐剂处理设备、腐蚀设备、清洗设备和各种检验设备等;芯片制造设备,包括光刻设备(曝光设备、涂膜、显影设备、腐蚀设备等)、清洗设备、掺杂设备(离子注入设备、扩散炉)、氧化设备、CVD设备、溅射设备、各种测试检测设备和分析评价设备等;封装与测试设备,包括组装设备(划片设备、键合设备、塑封设备、老化设备)、试验设备(验漏、测试、数据处理设备、环境试验设备)等;半导体工程设备,包括净化室、净化台、晶圆标准机械接口箱、自动搬送设备和环境控制设备(超净水制造、废气处理、废液处理、精制设备、分析设备、探测器)等。2.2电真空器件及平板显示器生产装备包括显像(显示)管制造设备,真空开关管制造设备,液晶显示器件制造设备,PDP制造设备,真空荧光显示屏(VFD)制造设备,电子枪制造设备等。2.3电子元件及机电组件生产装备包括线束线缆设备,电阻器、电容器和电感器制造设备,敏感组件制造设备,传感器制造设备,晶体振荡器制造设备,滤波器制造设备,频率器件制造设备,磁性材料及元件制造设备,电子变压器制造设备,开关制造设备,接插件制造设备,微特电机制造设备,继电器制造设备,电声器件制造设备,电池生产设备,陶瓷材料设备,线圈制造设备等。2.4印制电路板生产装备包括基板加工设备,压合设备,钻孔成形设备,湿制程设备,丝印设备,检测设备,电镀设备,喷锡设备,压膜机,曝光机,显影机,制板机,烘烤制程自动线以及环境工程设备等。2.5组装及整机装联设备包括SMT焊膏印刷机,喷涂设备,点胶设备,自动插件机,贴片机,接驳台,上下料机,回流焊机,波峰焊机,炉温测量仪,清洗设备,返修设备,自动光学检测设备(AOI),自动X射线检测设备(AXI),环境设备,各种辅助设备(零件编带机、钢网清洁机、焊膏搅拌机、锡膏测试仪、元器件及印制电路板烤箱、锡渣还原机等),氮气设备,电缆加工及检测设备等。
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