图1.4高真空系统1.5真空系统设计的基本内容*1.1真空系统的概念真空系统设计东北大学首期《真空技术》培训班系列教程之六什么是真空系统?用一句话来概括,真空系统就是用来获得有特定要求的真空度的抽气系统。*1.2真空系统的组成元件真空系统设计东北大学首期《真空技术》培训班系列教程之六一个较完善的真空系统由下列元件组成:1.抽气设备:例如各种真空泵;2.真空阀门;3.连接管道;4真空测量装置:例如真空压力表、各种规管;5.其它元件:例如捕集器、除尘器、真空继电器规头、储气罐等。*1.3真空系统示意图真空系统设计东北大学首期《真空技术》培训班系列教程之六一个要进行真空处理的容器,用管道和阀门将它与真空泵连接起来,同时在容器上设置真空测量装置,这就构成了一个最简单的真空抽气系统(如图1)。*1.4高真空系统真空系统设计东北大学首期《真空技术》培训班系列教程之六图1所示的最简单的真空系统只能获得低真空度,当需要获得高的真空度时,需要添加高真空泵。当串联一个高真空泵之后,通常要在高真空泵的入口和出口分别加上阀门,以便高真空泵能单独保持真空。如果所串联的高真空泵是一个油扩散泵,为了防止大量的油蒸气返流进入被抽容器,通常在油扩散泵的入口加一个捕集器水冷障板(如图2所示)。根据要求,还可以在管路中加上除尘器、真空继电器规头、真空软连接管道、真空泵入口放气阀等等,这样就构成了一个较完善的高真空系统。*真空系统设计东北大学首期《真空技术》培训班系列教程之六*真空系统设计东北大学首期《真空技术》培训班系列教程之六高真空油扩散泵机组*1.5真空系统设计的基本内容真空系统设计东北大学首期《真空技术》培训班系列教程之六真空系统设计的基本内容:根据被抽容器对真空度的要求,选择适当的真空系统设计方案,进行选、配泵计算;确定导管、阀门、捕集器、真空测量元件等,进行合理配置,最后划出真空系统装配图和零部件图。
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