真空室的泵房内。机械泵(包括罗茨泵)有振动,要防止振动波及整个系统,通常用软管减振。软管有金属和非金属的两种,不论采用那种软管要保证在大气压力作用下不被压瘪。真空系统建成后,应便于测量和检漏。为了迅速找到漏孔,要进行分段检漏,因此,每一个用阀门封闭的区间,至少要有一个测量点。真空系统中配置的阀门和管道,应使系统抽气时间短,使用方便,安全可靠。通常在一个蒸气流泵(扩散泵或油增压泵)作为主泵和一个机械泵作为前级泵的系统上,除了有前级管道(蒸气流泵串联机械泵的管道)外,还应有一个预抽管道(真空室直通机械泵的管道);在真空室和主泵之间设有高真空阀门(也称主阀),在前级管道上设有前级管道阀,在预真空管道上设置预抽管道阀(均称低真空阀);机械泵入口管道上,应设一个放气阀门,防止机械泵停泵时返油。真空室上也要设置放气阀门,给便装料和取料时打开室门。测量真空度的规管位置要避开带有水套的壳体,因为其焊接工艺性差,规管可以上下直立的设置在主泵的入口管道上,不要横放。真空系统的设计应保证排气稳定可靠,安装拆卸维修容易,操作方便,各元件间的连接有互换性.应努力做到自动控制和联锁保护以保证系统安全可靠。真空系统设计中要求做到节省能源,降低成本。2选泵与配泵真空系统中,主泵决定了被抽容器的极限真空度和工作真空度;前级泵则在主泵出口处造成始终低于主泵临界前级压力的真空度;而所说的预抽泵是为了使被抽容器能从大气压很快的抽到主泵能够开启的工作压力而设置的,一般前级泵同时兼做预抽泵。2.1选主泵即选择主泵类型和确定主泵抽速大小2.1.1主泵类型的确定:确定主泵类型的依据:根据被抽容器所要求达到的极限真空度和工作真空度,一般选取主泵的极限真空度稍高于要求的极限真空度(如高半个数量级)。另外,每一种泵都有其最佳工作压强范围,应保证将被抽容器的工作真空度选在主泵的最佳抽速压强范围内。各种真空泵工作压强范围见图11。
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