扫描电子显微镜试行检定规程 （JJG 550-88）

差不大Р于 3%,说明比对性标样可以用于测量扫描电镜的放大倍数,将 10 次实验的算术平均值作Р为这个比对性标样的标记线间距的标定值。Р 数学表示如下: Р nР − tti )( 2Р 3 ∑Р × i=1 ≤%3Р t nn −)1(Р Р式中:ti —比对性标样标记线问距的第i次测量值(i=1,2,3…10); Р i — 10 次测量的算术平均值; Р n —测量次数(n=10)。Р Р26Р附录 B Р 扫描电子显微镜检定记录РB.1 直观检定РB.1.1 直接观察РB.1.2 操作检查РB.2 真空度的检定Р 工作真空度开机时间换样品时间换灯丝时间Р Р РB.3 放大倍数示值误差的检定Р 测量测量一次二次三次示值Р 标称值平均值测定值Р 内容档号测量测量测量误差Р 数Р 据РB.4 放大倍数重复性的检定Р M1= M2= M3= M4= Р M5= M6= M7= M8= Р M9= M10= Р nР 2Р ∑ i − MM )(Р σ= i=1 =− 3σР g ==Р n −1 MР РB.5 图像线性失真度的检定Р x1= x2= x3= x4= Р x0= Δxmax= α= Р y1= y2= y3= y4= Р y0= Δymax= β= РB.6 二次电子像分辨本领的检定Р SР S= M= d = = Р MРB.7 X射线泄漏量的检定Р H= Р 27Р附录 C Р 检定结果通知书(背面) РC.1 直观РC.2 真空度РC.2.1 工作真空度РC.2.2 开机时间РC.2.3 更换样品时间РC.2.4 更换灯丝时间РC.3 放大倍数的示值误差Р P1= P2= P3= Р P4= P5= РC.4 放大倍数重复性Р g= РC.5 图像线性失真度Р α= β= РC.6 二次电子像的分辨本领Р d= РC.7 X射线泄漏量Р H= Р28