肺功能设备的MEMS热式流量传感器

备的MEMS? 热式流量传感器Р肺功能设备的MEMS? 热式流量传感器Р1 简介Р在本文中,提出一种新型的肺活量计由一个MEMS热膜传感器构成,使用在对心血管疾病的温度预防监测系统上Р肺功能设备的MEMS? 热式流量传感器Р传统传感器的缺点Р目前, 病人的呼吸测定的执行是由三个悬浮的金属丝组成的标准流量传感器实现的, 这些传感器有超过1瓦的高功率消耗并根据运动机械变形或加速,从而导致较高的寄生效应[2]Р不能检测快速流速呼吸的变化,从而导致不正确的取得呼吸量,从而在概率地增加诊断故障Р肺功能设备的MEMS? 热式流量传感器Р基于MEMS技术的热式流量传感器的优点Р该传感器基于热的原则, 这意味着,它对气体的物理性质有高度的敏感度Р低功耗Р工作温度低Р微系统给病人提供了良好的生活质量,使病人可以在家里接受护理Р肺功能设备的MEMS? 热式流量传感器Р2 传感器实现和集成?原始物料一个100毫米直径,300μ米厚,(100)型硅双面经抛光晶圆?首先,放置膜材料(在一个薄氧化层利用LPCVD淀积150nm硅氮化层),用一个100nm多晶硅层,一个300nm铝层进行标准热电堆制造;其次,为了保护热传感器针对苛刻的环境,用一个PECVD沉积si3n4层做为钝化层并且做为掩膜在硅片背面来实现自由膜?微系统流量传感器芯片宽2mm,长6mm。敏感硅氮化膜尺寸300 μm× 600 μm,线加热器放置在膜的中间,两边是对称结构的热电堆,传感器作为一个热量计使用,能从而检测流动方向Р肺功能设备的MEMS? 热式流量传感器Р肺功能设备的MEMS? 热式流量传感器Р3工作原理Р热式流量测量是利用传热原理,即流动中的流体与热源(流? 体中加热的物体或测量管外加热体) 之间热量交换关系来? 测量流量的技术Р它主要分为风速计式(anemometer) 和测热型(calorimet ? ric) 两种方式