囊加速度传感器:感受振动信号,避免强烈冲击对驾驶员造成伤害。发生在20世纪90年代的故事2.汽车中气囊发生在20世纪90年代的故事发生在20世纪90年代的故事3.微型摄像系统背着微型摄像系统的蟑螂微型摄像机在地震废墟中传回图形信号一、MEMS的定义及组成MEMS(MicroElectro-MachanicalSystem,微机电系统)是20世纪末发展起来的一门新兴的前沿学科,它是在微电子二维表面加工技术的基础上发展起来的,以硅、玻璃、有机材料以及金属材料的三维加工技术为基础,结合功能材料及薄膜化制备工艺,把微型传感单元、执行单元、微能源以及微电子电路集成在一个芯片上的具有传感、执行和数据处理功能的微型系统。1.MEMS的定义一、MEMS的定义及组成美国:微型机电系统(Microelectro-mechanicalSystem,MEMS)日本:微机械(Micro-machine)欧洲:微系统(Micro-system)我们把这些通称为微机电系统(MEMS)2.MEMS的三大流派小型(mini-)机械(1mm~10mm)微型(micro-)机械(1μm~1mm)纳米(nano-)机械(1nm~1μm)1μm=10-6m(微米)、1nm=10-9m(纳米)1um~100μm为微米尺度100nm~1μm为亚微米尺度1nm~100nm为纳米尺度小于1nm为原子团簇一、MEMS的定义及组成3.微型机械尺寸范围(按特征尺寸)微型机械三、MEMS组成MEMS是微电子同微机械的结合,如果把微电子电路比作人的大脑,微机械比作人的五官(传感器)和手脚(执行器),两者的紧密结合,就是一个功能齐全而强大的微系统。4.MEMS的组成一、MEMS的定义及组成机械部分传感执行控制部分电子学MEMS控制部分微电子学传统的机械电子系统IC工艺发展后的机械电子系统机械系统和传感系统缩小后与控制系统平衡的MEMS
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