&?IsolationРICSР其它MEMS?传感器2РGaAs RFICР热沉Р处理器Р3D CAPACITORSР有机/玻璃/硅Р基板Р供电模块Р电信号处理模块Р埋入电容、电阻、电感Р其它MEMS?传感器1РMPNT关键组件Р预留高速接口Р存储单元Р无线通讯模块Р三维封装、基于基板的埋入式封装(EMAP+SIP)?系统级集成封装降低体积、功耗,低成本和可批量制造Р3、MPNT的系统级微型化封装(SIP+EMAP)Р二、MPNT中的部分关键问题及对策Р自行研制的微型碱金属腔照片Р碱金属腔光谱测试图Р技术基础-1:微型碱金属腔制备技术Р特点:?1、钾、铷、铯的微型化封装以及混合封装?2、微腔形状、尺寸(几十微米-几厘米)可控;?3、铷腔内的气氛、压力可调,腔内压力可高于3个大气压力Р技术基础Р中国专利;?IEEE EPTC,2013;?IEEE ECTC2014,Travel Award;ECTC 2015 Accepted.Р三、 SEU-MEMS相关基础Р5mmР圆片级玻璃微腔(6英寸)Р技术基础-1:微型铷腔量产技术РLab on a chip,2011;?IEEE ECTC,2012;?IEEE MEMS,2012;?US Patent及中国专利Р三、 SEU-MEMS相关基础Р多样化的玻璃微结构Р技术基础-1:微型铷腔量产技术Р中国专利;?IEEE J. MEMS,2011;?IEEE MEMS,2010;?IEEE ECTC,2010;?IEEE ECTC,2011Р三、 SEU-MEMS相关基础Р尺寸可调(几百微米-几毫米)?圆片级制备Р技术基础-2:微透镜阵列加工技术РIEEE Transactions on CPMT,2013;?IEEE ECTC,2012Р带有spacer的聚合物透镜阵列Р带有spacer的单个聚合物透镜Р三、 SEU-MEMS相关基础
全文预览