装( 的系统级微型化封装( SIP+EMAP SIP+EMAP ) ) 二、二、 MPNT MPNT 中的部分关键问题中的部分关键问题及及对策对策自行研制的微型碱金属腔照片碱金属腔光谱测试图技术基础技术基础-1 -1: :微型碱金属腔制备技术特点: 1、钾、铷、铯的微型化封装以及混合封装 2、微腔形状、尺寸(几十微米-几厘米)可控; 3、铷腔内的气氛、压力可调,腔内压力可高于 3个大气压力技术基础技术基础?中国专利; ? IEEE EPTC ,2013 ; ? IEEE ECTC2014 , Travel Award ; ECTC 2015 Accepted. 三三、、 SEU-MEMS SEU-MEMS 相关相关基础基础 5mm 圆片级玻璃微腔(6英寸) 技术基础技术基础-1 -1: :微型铷腔量产技术? Lab on a chip ,2011 ; ? IEEE ECTC ,2012 ; ? IEEE MEMS ,2012; ? US Patent 及中国专利三三、、 SEU-MEMS SEU-MEMS 相关相关基础基础多样化的玻璃多样化的玻璃微结构微结构技术基础技术基础-1 -1: :微型铷腔量产技术?中国专利; ? IEEE J. MEMS ,2011 ; ? IEEE MEMS ,2010 ; ? IEEE ECTC ,2010 ; ? IEEE ECTC ,2011 三三、、 SEU-MEMS SEU-MEMS 相关相关基础基础?尺寸可调(几百微米-几毫米)?圆片级制备技术基础技术基础-2 -2: :微透镜阵列加工技术? IEEE Transactions on CPMT ,2013 ; ? IEEE ECTC ,2012 带有 spacer 的聚合物透镜阵列带有 spacer 的单个聚合物透镜三三、、 SEU-MEMS SEU-MEMS 相关相关基础基础
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