依靠光热效应来加工各种材料的一种加工方法。? (1)工作物质只有能实现粒子数反转的物质才能作为激光器的工作物质。? (2)激励能源是把工作物质中多余一半的原子从低能级激发到高能级上去,实现工作物质粒子数反转。? (3)谐振腔主要作用是使工作物质所产生的受激? 辐射建立起稳定的振荡状态,从而实现光放大。? 2. 激光加工的特点? (1)加工范围广。? (2)用于精密微细加工。? (3)易实现自动化。? (4)加工性能好。? (5)精微加工时,精度难保证。? (6)工作时,操作者应戴防护眼镜。Р3. 激光加工的应用? (1)激光打孔? 主要用于在特殊零件或特殊材料上孔的加工。具有速度极快、生产效率极高的特点。? (2)激光切割? 可以切割金属、陶瓷、玻璃、半导体材料、布、纸、橡胶、木材等各种材料,切割效率高,切缝窄,并可十分方便地切割出各种曲线形状。? (3)激光焊接? 具有时间短、效率高、热影响区小、无喷渣、被焊材料不易氧化和焊缝质量高等特点,既可以焊接同种材料,也可以焊接异种材料,还可透过玻璃焊接。? (4)激光表面热处理? 可以对铸铁、中碳钢、甚至低碳钢等材料进行激光表面淬火,并且具有工件表层的加工速度极快、内部受热极小、工件不产生热变形等特点,特别适合于? 形状复杂零件的加工。Р4.1.5 电子束加工Р1. 电子束加工原理? 下图为电子束加工原理图,它由高压电源、电子枪系统、真空系统和控制系统等组成。? 2. 电子束加工的特点? (1)可用来加工微细深孔、窄缝和半导体集成电路等。? (2)加工材料范围广。? (3)特别适合于高纯度半导体材料和易氧化的金属及合金的加工。? (4)工件不易产生宏观应力和变形。? (5)加工过程易于实现自动化。? (6)加工设备复杂,投资较大。? 3. 电子束加工的应用? (1)电子束高速打孔及型面加工? (2)电子束焊接? (3)电子束刻蚀
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