米级,对一维机构研究较为深入高校有清华大学、华中科技大学等国内著名高校,由清华大学研制的光刻机工作台就是典型的一维精确定位系统,定位精度高达,此时的有效载荷可达,属于国内领先技术水平。国内更多的是把研究重点放在多维工作平台上,比较有代表性的科研单位有中国科学院长春光机所,该单位研制的二维磁悬浮平台在大行程运动平台中处于领先水平,定位精度可以到百纳米级,该平台的主要特点是采用了磁悬浮技术,能够有效的降低外部震动给系统带来的影响,并且采用了无接触驱动方式,结合该所自主研制的驱动控制系统,可以实现高速准确的系统定位。浙江大学研制的宏微定位系统,其行程可达,其中运动部分包括伺服电机和压电陶瓷,粗动由伺服电机完成,精动由压电陶瓷完成,两者结合既满足大行程快速定位,又能满足高精度定位。该系统使用的位置传感器为光栅,光栅传感器具有反应冯晓梅等人参与研制的高精密定位的二维平台,驱动机构采用音圈电机,并配合有先进的弹性装置,该系统可以实现快速精密定位,具体参数如表。图磁悬浮微动台纳米定位实物图表呔芏ㄎ幌低巢问Р由清华大学学者黄世涛、冯之敬等人设计的基于音圈电机的典型微进给系统主要系统在设计时为了达到技术要求,零部件基本采用进口部件,因为进口部件在技术参数水平、可靠性、使用寿命等方面都明显优于国内厂商提供的部件,而且部分部件国内还没有设计或加工能力‘】。具体部件的名称、型号以及供应商如表。应用在数控加工设备。系统参数如表所示,驱动部件采用音圈电机,型号为型,系统具有很高的定位精度和响应频率,自主研发设计的位置伺服系统采用瓺控制法,能够有效的实现双闭环控制,该系统具有很好的抗干扰能力,能够很好的使用数控加工设备的复杂使用环境俊国防科技大学张武军、杨爱梅等人设计的微动闭环控制系统,主要的使用对象也是精密加工设备,具体部件参数如表所示【表ㄎ幌低巢考斜表非圆数控车削系统参数表快刀.精密定位系统部件参数
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