偿差异值为���运用��砑�腄�功能,将此公式生成的间距与补偿量信息录入数据库,生成�动态补偿程序,以备后续验证试验使用。动态补偿程序以表�内的数据生成的公式三为脚本,最小补偿�,即小于等于�����按线间距大小进行补偿。以上实验一共可以得到三个结论,分别是:结论一:得到线宽补偿量�褪纯桃蜃覧的关系式�谕����畉�笥�,具体描述为:结论二:得到线宽补偿量�屯�馮关系式����,具体描述为:结论三:得到线宽补偿量�图渚郤的关系式���咛迕枋鑫#����下面将使用这三个结论对生产板线宽进行补偿,收集线宽数据,以验证这三个结论是否可应用选取型号�陌褰�行∨�渴匝椋�秃臕为��板,板设计信息如下:试验层的板面铜厚为�����,通过公式二计算,蚀刻因子/�.�榭鱿拢�铝⑽幌呖聿钩チ课��,因为有铜厚的波动,所以按照最大的�的铜厚设计补偿,此时孤立位线宽的补偿量应�,因此减去孤立位与密集位的�因此,我们先将线宽统一按照��进行补偿,而后调用��砑�腄�功能运行动态补偿程序,图形形成与蚀刻����以�������.�,����.��.�,����.��ノ唬�得到下表:作图,得图如下:图�线宽差异与随线间距的变化关系图如下:�.��������罶�.���×�����用,后续将有批量试验板验证��嵝允纯碳醭煞��,即在��板面铜厚水平,孤立位的补偿量相对于密集位需要增�.���铜厚区间的间距设置为����不做补偿,大于���用铜厚区间为��τ猛�袂�湮��于实际生产。该是�类别信息备注层数�层尺寸拼版��试验目标层试验层铜厚试验层密集位最小间距试验层最小线宽试验补偿设计������钩コ绦�������呖砩杓浦兄��.���;�.�������罞.���×��。�������罫��畉�����.���.��×��.���×�������.�����×���������..�..������
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